Diamond growth with SiCN interlayer by hot Filament chemical vapor deposition
Diamond growth with SiCN interlayer by hot Filament chemical vapor deposition
复制标题
通过热丝化学气相沉积法生长 SiCN 中间层的金刚石
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Akira Izumi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yuki Katamune;Hiroto Mori;Akira Izumi
