Revolutional Progress of Silicon Technologies Revolutional Progress of Device Perfoemance and Manufacturing Technologies
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复制标题
硅技术的革命性进步 器件性能和制造技术的革命性进步
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Ohmi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yamamoto;D;中ノ勇人;T. Ohmi
