T.Meguro,et al.: "Control of etching reaction of digital etching using tunable UV laser irradiation" Applied Surface Science. 82/83. 193-199 (1994)
T.Meguro,et al.: "Control of etching reaction of digital etching using tunable UV laser irradiation" Applied Surface Science. 82/83. 193-199 (1994)
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T.Meguro 等人：“使用可调紫外激光照射控制数字蚀刻的蚀刻反应”应用表面科学。
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