Modeling the constitutive and frictional behavior of PTFE flexible stamps for nanoimprint lithography
Modeling the constitutive and frictional behavior of PTFE flexible stamps for nanoimprint lithography
复制标题
模拟纳米压印光刻 PTFE 柔性印模的本构和摩擦行为
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Hattel
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M. R. Sonne;J. Hattel
