创新的高功率真空紫外光源-猫眼课题宝

创新的高功率真空紫外光源

批准号：

9361318

负责人：

Donald McNeill

金额：

$6.5万

依托单位：

Efthimion Enterprises, Inc.

依托单位国家：

美国

项目类别：

Standard Grant

财政年份：

1994

资助国家：

美国

项目状态：

已结题

起止时间：

1994-01-01 至 1994-12-31

来源：

https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9361318&HistoricalAwards=false

关键词：

Innovative Powered Vacuum Ultra Violet

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9361318 McNeill A high power density (greater than 1,000 W/cc) microwave-driven plasma source has been developed, and it can potentially be an efficient vacuum ultra violet (VUV) light source. This assessment is based upon previous spectroscopic measurements and power balance analysis of steam plasmas created at atmospheric pressure with only 6 kW of power. We propose to a new UV light source with high power below 200 nm. This class of light source can be potentially applied to photolithography and surface treatment of polymers.

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