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Development of an Optimised Flux Monitoring and Control Capability for Materials Synthesis in MBE

MBE 中材料合成的优化通量监测和控制能力的开发

基本信息

批准号：
9500380
负责人：
Henry Lee
金额：
$ 5.3万
依托单位：
University of California-Irvine
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1995
资助国家：
美国
起止时间：
1995-07-01 至 1997-06-30
项目状态：
已结题

来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9500380&HistoricalAwards=false
关键词：
Development Optimised Flux Monitoring Control

项目摘要

9500380 Lee Instrumentation will be purchased to establish a fully integrated, automated capability for optimizing growth of novel III-V alloys and superlattices, with monolayer and submonolayer control of layer thickness in III-V materials. ***

9500380李仪器将被购买，以建立一个完全集成的自动化能力，以优化新型III-V合金和超晶格的生长，并在III-V材料中采用单层和亚单层控制层厚度。＊＊＊

项目成果

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