Thermisches Prozessieren von dünnen, freitragenden, flächig ausgedehnten Siliziumfilmen (Akronym: ExSilon)

自支撑大面积硅薄膜的热处理（缩写：ExSilon）

• 批准号: 101762702
• 负责人: Dr. Thomas Kunz
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Photonische Technologien (LPT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/101762702?language=en
• 关键词: Thermisches; Prozessieren; von; nnen; freitragenden

Monokristalline Siliziumsubstrate sind die Basis vielfältiger Halbleiterbauelemente. Ihre herkömmliche Herstellung aus einem Massivkristall mittels Sägen und Polieren hat große Nachteile. So müssen z.B. zur Herstellung eines Photovoltaikmoduls viele Einzelscheiben prozessiert und miteinander verdrahtet werden. Die Scheiben sind deutlich dicker als die Anwendung dies erfordert, so dass der Verbrauch an hochreinem (und damit teurem) Silizium unnötig hoch ist. Im beantragten Projekt soll deshalb ein neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten, freitragenden Siliziumsubstrats, das gerade die für die Anwendung notwendige Dicke (d.h. d ( 50 μm) aufweist, untersucht werden. Aufgrund der dadurch erreichten Flexibilität ist das Substrat potentiell für eine hocheffiziente Rolle zu Rolle Verarbeitung geeignet. Neben der Photovoltaik sind noch andere Anwendungen, wie z.B. großflächige Röntgendetektoren, naheliegend. Das Projekt wird sich auf Schlüsselschritte des Konzepts konzentrieren. Hierzu gehören das Fügen dünner monokristalliner Siliziumfolien mittels Laser und das epitaktische Schichtwachstum auf diesen Folien. Thermomechanische Simulationen sollen eine solide Basis für die experimentellen Untersuchungen schaffen. Einige der Folien werden zu Testsolarzellen weiterverarbeitet, um beispielhaft das Anwendungspotential zu demonstrieren.

单晶硅基质是基础 vielfältiger Halbleiterbauelemente。 Ihre herkömmliche Herstellung aus einem Massivkristall mittels Sägen und Polieren hat große Nachteile。所以 müssen z.B.光伏模块的设计和维护。 Die Scheiben sind deutlich dicker als die Anwendung dies erfordert, so dass der Verbrauch an hochreinem (und damit teurem) Silizium unnötig hoch ist. Im beantragten Projekt soll deshalb ein neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten, freitragenden Siliziumsubstrats, das gerade die für die Anwendung notwendige Dicke (d.h. d (50 μm) aufweist, untersucht werden. Aufgrund der badurch错误 灵活性是 Rolle zu Rolle Verarbeitung geeignet 的底层潜力。 Neben der Photovoltaik sind noch andere Anwendungen, wie z.B. großflächige Röntgendetektoren，naheliegend。项目本身 Schlüsselschritte des Konzepts konzentrieren。 Hierzu gehören das Fügen dünner monokristalliner Siliziumfolien mittels Laser und das epitaktische Schichtwachstum auf diesen Folien.热机械模拟是解决实验问题的基础。 Einige der Folien werden zu Testsolarzellen weiterverarbeitet，um beispielhaft das Anwendungspottial zu demostrieren。