Thermisches Prozessieren von dünnen, freitragenden, flächig ausgedehnten Siliziumfilmen (Akronym: ExSilon)

自支撑大面积硅薄膜的热处理（缩写：ExSilon）

• 批准号: 101762702
• 负责人: Dr. Thomas Kunz
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Photonische Technologien (LPT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/101762702?language=en
• 关键词: Thermisches; Prozessieren; von; nnen; freitragenden

Monokristalline Siliziumsubstrate sind die Basis vielfältiger Halbleiterbauelemente. Ihre herkömmliche Herstellung aus einem Massivkristall mittels Sägen und Polieren hat große Nachteile. So müssen z.B. zur Herstellung eines Photovoltaikmoduls viele Einzelscheiben prozessiert und miteinander verdrahtet werden. Die Scheiben sind deutlich dicker als die Anwendung dies erfordert, so dass der Verbrauch an hochreinem (und damit teurem) Silizium unnötig hoch ist. Im beantragten Projekt soll deshalb ein neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten, freitragenden Siliziumsubstrats, das gerade die für die Anwendung notwendige Dicke (d.h. d ( 50 μm) aufweist, untersucht werden. Aufgrund der dadurch erreichten Flexibilität ist das Substrat potentiell für eine hocheffiziente Rolle zu Rolle Verarbeitung geeignet. Neben der Photovoltaik sind noch andere Anwendungen, wie z.B. großflächige Röntgendetektoren, naheliegend. Das Projekt wird sich auf Schlüsselschritte des Konzepts konzentrieren. Hierzu gehören das Fügen dünner monokristalliner Siliziumfolien mittels Laser und das epitaktische Schichtwachstum auf diesen Folien. Thermomechanische Simulationen sollen eine solide Basis für die experimentellen Untersuchungen schaffen. Einige der Folien werden zu Testsolarzellen weiterverarbeitet, um beispielhaft das Anwendungspotential zu demonstrieren.

单晶硅基板是一种基础材料。他的大教堂里有一个大教堂，里面有一个大教堂和一个大教堂。所以我很抱歉。因此，我们需要一个光伏模块，它具有很好的性能，并且可以在韦尔登中使用。这张纸是一张德国的小册子，所以它是一种高纯度（和高纯度）的硅胶。In beantragten Projekt soll deshalb ein neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten，freitragenden Siliziumsubstrats，das gerade die fr die Anwendung notwendige迪凯（d.h. d（50 μm）aufweist，untersucht韦尔登。Aufgrund der dadverreichten rebilität ist das Substrat potentiell für eine hocheffiziente Rolle zu Rolle Verarbeitung geeignet.光伏发电的未来也是如此，就像z.B. greßflächige Röntgendetektoren，nahelegend.该项目将在Schlüsselschritte des Konzepts konzentrieren。Hierzu gehören das Fügen dünner monokristalliner Siliziumfolien mittels Laser and das epitaktische Schichtwachstum auf diesen Folien。热机械模拟解决了实验研究的坚实基础。一个活页韦尔登可以在测试中使用，它是演示的潜在的支柱。