Thermisches Prozessieren von dünnen, freitragenden, flächig ausgedehnten Siliziumfilmen (Akronym: ExSilon)

自支撑大面积硅薄膜的热处理（缩写：ExSilon）

• 批准号: 101762702
• 负责人: Dr. Thomas Kunz
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Photonische Technologien (LPT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/101762702?language=en
• 关键词: Thermisches; Prozessieren; von; nnen; freitragenden

Monokristalline Siliziumsubstrate sind die Basis vielfältiger Halbleiterbauelemente. Ihre herkömmliche Herstellung aus einem Massivkristall mittels Sägen und Polieren hat große Nachteile. So müssen z.B. zur Herstellung eines Photovoltaikmoduls viele Einzelscheiben prozessiert und miteinander verdrahtet werden. Die Scheiben sind deutlich dicker als die Anwendung dies erfordert, so dass der Verbrauch an hochreinem (und damit teurem) Silizium unnötig hoch ist. Im beantragten Projekt soll deshalb ein neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten, freitragenden Siliziumsubstrats, das gerade die für die Anwendung notwendige Dicke (d.h. d ( 50 μm) aufweist, untersucht werden. Aufgrund der dadurch erreichten Flexibilität ist das Substrat potentiell für eine hocheffiziente Rolle zu Rolle Verarbeitung geeignet. Neben der Photovoltaik sind noch andere Anwendungen, wie z.B. großflächige Röntgendetektoren, naheliegend. Das Projekt wird sich auf Schlüsselschritte des Konzepts konzentrieren. Hierzu gehören das Fügen dünner monokristalliner Siliziumfolien mittels Laser und das epitaktische Schichtwachstum auf diesen Folien. Thermomechanische Simulationen sollen eine solide Basis für die experimentellen Untersuchungen schaffen. Einige der Folien werden zu Testsolarzellen weiterverarbeitet, um beispielhaft das Anwendungspotential zu demonstrieren.

单晶硅衬底硅片模基vielfältiger halbleiterbauelement。这里有herkömmliche Herstellung aus einem Massivkristall mittelels Sägen和poleren，他们成长为ße Nachteile。因此，<s:1> ssen z.B. zur Herstellung - eines光伏组件viele Einzelscheiben prozessiert和miteinder verdrahet werden。Die Scheiben sind deutlich dicker也Die Anwendung dies erfordert，所以dass der Verbrauch and hochreinem (und damit teurem) Silizium unnötig hochreinem。in beantragten项目中，在neuartiges Konzept zur Herstellung eines großflächig ausgedehnten， freitrgenen硅酸基材，das gerade die f<e:1> r die Anwendung not endige Dicke （d.d.h d (50 μm) auweist, untersucht werden）。1 .研究基材电位器的工作原理Flexibilität .研究基材电位器的工作原理。Neben der photovoltak sinch andere Anwendungen, wie z.B. großflächige Röntgendetektoren, naheliegend。Das Projekt（项目）是一种新概念的概念。研究方向：gehören das f<s:1>根d<e:1> nner单晶硅片激光器与das epitaktische Schichtwachstum auf diesen folen。热力学模拟在固体基<s:1>热模实验中的应用。在此基础上，提出了一种新的研究方法，即利用该方法研究潜在的太阳能发电潜力。