Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometer (SNMS)

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„Die Beschaffung des Sekundärneutralteilchen-Massenspektrometers (SNMS) dient dem Ersatz eines vorhandenen Gerätes, welches nach knapp 20 Jahren mit 58.800 Betriebstunden sehr stark störungsanfällig ist und nicht mehr dem Stand der Technik entspricht. Das SNMS soll im Bereich der Nanotechnologie von Beschichtungen und Oberflächenvergütungen auf diversen vorwiegend nichtmetallischen aber auch metallischen Substraten Aufschluss über die chemische Zusammensetzung und Abfolge eines Schichtaufbaus sowie Fragestellungen bezüglich der Anwendbarkeit der eingesetzten Beschichtungstechniken liefern. Durch die quantitative chemische Analyse von im Besonderen isolierenden dünnen Schichten, Grenz- und Oberflächen wird dieses Gerät für vielfältige Fragestellungen hinsichtlich der Kompatibilität unterschiedlicher Materialien und Materialverbunde eingesetzt. Infolge der hohen zeitlichen Auflösung bei geringen Sputterraten werden Erkenntnisse zu diffusiven Transportprozessen im nahezu atomaren Maßstab gewonnen. Somit können gezielt nanoskalige Funktionsschichten bezüglich ihrer Wechselwirkung mit dem Substrat untersucht und an die Erfordernisse angepasst werden. Es sind chemische Veränderungen der Materialoberfläche infolge der Wechselwirkung mit externen Medien und Umwelteinflüssen mit sub-Nanometer Auflösung (Tiefe) nachweisbar, die frühe Stadien von Degradation, Korrosion und Verwitterung aufklären können.“