SBIR Phase I: Novel Miniature Diagnostic Using Micro-Discharge Technology

SBIR 第一阶段：使用微放电技术的新型微型诊断

• 批准号: 9860941
• 负责人: J. Ewing
• 金额: $ 10万
• 依托单位: EWING TECHNOLOGY ASSOCIATES
• 依托单位国家: 美国
• 项目类别: Standard Grant
• 财政年份: 1999
• 资助国家: 美国
• 起止时间: 1999-01-01 至 1999-06-30
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9860941&HistoricalAwards=false
• 关键词: SBIR; Phase; Novel; Miniature; Diagnostic

9860941 Ewing Technology Associates, in collaboration with researchers at the University of Illinois at Urbana-Champaign, will develop inexpensive point sensors with important applications in environmental control systems, chemical process flows, and atmospheric monitoring. The technology to be investigated is that of a micro-discharge. Micro-discharges will be fabricated using Si-based IC fabrication technology. Because of their small dimensions, these devices can operate in novel regimes of pressure and excitation.

9860941 Ewing Technology Associates与伊利诺伊大学厄巴纳-香槟分校的研究人员合作，将开发廉价的点传感器，在环境控制系统、化学工艺流程和大气监测中具有重要应用。 研究的技术是微放电技术。 微放电将使用硅基集成电路制造技术制造。 由于它们的尺寸小，这些设备可以在压力和激励的新机制中操作。