Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)

这是韦尔登1-3和（自由）1-1多组分结构，具有更高的Aspektverhältnissen hergestellt，它们不是通过衬底来实现的。采用PZT或AlN作为压电材料的韦尔登1-3结构，将有助于大马士革技术结构的发展。Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verdedene Verfahren zum Einstein.最后，我们将直接将绝缘InP与压电元件连接起来。

Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.