Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)
Magnetoelektrische 1-3 Komposite (A03)
磁电1-3复合材料（A03）
批准号：
158213778
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位国家：
德国
项目类别：
Collaborative Research Centres
财政年份：
2010
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2009-12-31 至 2012-12-31
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英文摘要
Es werden 1-3 und (freistehende) 1-1 Multikompositstrukturen mit hohen Aspektverhältnissen hergestellt, die nicht durch das Substrat geklemmt sind. Untersucht werden 1-3 Strukturen mit PZT oder AlN als piezoelektrischem Material, das mit Hilfe der Damascene-Technologie strukturiert wird. Weiterhin wird makroporöses Silizium und InP als Template für 1-3 und 1-1 Multikomposit-Säulenstrukturen verwendet. Zur Füllung der Poren in Si mit Multikompositen kommen verschiedene Verfahren zum Einsatz. Darüber hinaus wird die direkte Verwendung von isolierenden makroporösem InP als piezoelektrischen Komponente untersucht.
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