Dreidimensionale Atomsonde mit SEM/FIB Workstation

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„Ziel der Untersuchungen einer Gruppe von Wissenschaftlern an der RWTH Aachen ist die Untersuchung resistiver Schaltprozesse, die zur Entwicklung neuer Speicherkonzepte eingesetzt werden. Diese Datenspeicherung beruht dabei auf atomaren Umordnungsprozessen. So basieren Phasenwechselmaterialien, die in Aachen intensiv erforscht werden, auf der ultraschnellen Kristallisation von Chalkogenidlegierungen, während es bei resistiv schaltenden Oxiden zu einer Änderung der Oxidationszahl bzw. einer Bewegung von Ionen aufgrund des Schaltprozesses kommt. Diese atomaren Umlagerungen spielen sich auf der Nanometerskala ab und benötigen daher anspruchsvolle Analysetechniken, um die Proben zu charakterisieren. Zudem kommt es zu Reaktionen mit dem umgebenden Elektrodenmaterial, die genauer verstanden werden müssen. Da diese Schaltprozesse vor allem in kleinen Zellen von 50-100 nm untersucht werden, wird ein Repertoire von Techniken benötigt, das in lateraler und vertikaler Richtung eine Auflösung im Subnanometerbereich erlaubt. Daher wollen wir avancierte Analysetechniken einsetzen. Die hier beantragte FIB/SEM Workstation soll die Proben für die Atomsonde herstellen. Mit dieser Sonde soll dann die atomare Anordnung der Elemente in drei Dimensionen analysiert werden. Zudem soll das SEM/FIB auch für die Realisierung von Nanodevices in der Nanoelektronik und die Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie genutzt werden.“