Dreidimensionale Atomsonde mit SEM/FIB Workstation

带 SEM/FIB 工作站的三维原子探针

• 批准号: 161323747
• 金额: --
• 依托单位: Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2011-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/161323747?language=en
• 关键词: Dreidimensionale; Atomsonde; mit; SEM; FIB

„Ziel der Untersuchungen einer Gruppe von Wissenschaftlern an der RWTH Aachen ist die Untersuchung resistiver Schaltprozesse, die zur Entwicklung neuer Speicherkonzepte eingesetzt werden. Diese Datenspeicherung beruht dabei auf atomaren Umordnungsprozessen. So basieren Phasenwechselmaterialien, die in Aachen intensiv erforscht werden, auf der ultraschnellen Kristallisation von Chalkogenidlegierungen, während es bei resistiv schaltenden Oxiden zu einer Änderung der Oxidationszahl bzw. einer Bewegung von Ionen aufgrund des Schaltprozesses kommt. Diese atomaren Umlagerungen spielen sich auf der Nanometerskala ab und benötigen daher anspruchsvolle Analysetechniken, um die Proben zu charakterisieren. Zudem kommt es zu Reaktionen mit dem umgebenden Elektrodenmaterial, die genauer verstanden werden müssen. Da diese Schaltprozesse vor allem in kleinen Zellen von 50-100 nm untersucht werden, wird ein Repertoire von Techniken benötigt, das in lateraler und vertikaler Richtung eine Auflösung im Subnanometerbereich erlaubt. Daher wollen wir avancierte Analysetechniken einsetzen. Die hier beantragte FIB/SEM Workstation soll die Proben für die Atomsonde herstellen. Mit dieser Sonde soll dann die atomare Anordnung der Elemente in drei Dimensionen analysiert werden. Zudem soll das SEM/FIB auch für die Realisierung von Nanodevices in der Nanoelektronik und die Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie genutzt werden.“

他说：“我在亚琛和亚琛之间建立了一种新的合作伙伴关系。他说：“这是一种特殊的生活方式。”因此，他们死在了亚琛，死在了亚琛的国度里，从超自然的结晶中走出来，看着他们抵抗着沙尔滕登的氧化。他说，这是一种很好的方法。在纳米技术和本技术的基础上，我们可以利用原子分析技术，从技术上解决这个问题。这是一件很重要的事情，因为这件事发生了很多。在50-100 nm的Kleinen Zellen von von 50-100 nm下，我们的曲目是von Techniken Benötigt，das in lateraler and vertiker richtung eine auflöSong im subnanometerbereich erlabt.达赫尔·沃伦·韦尔是一名分析师。请点击此处查看FIB/SEM工作站的所有信息，以确定您的工作地点。麻省理工学院的柴油供应商Sonde soll Dann在DREI Dimensionen Analysiert中对元素进行了分析。Zudem soll das SEM/FIB auch für die Realisierung von Nano Devices in der Nanoelektronik and die preparation von Proben für die Transmitsionselektronenmikroskopie genutzt.

项目成果

Reversible Optical Switching of Infrared Antenna Resonances with Ultrathin Phase-Change Layers Using Femtosecond Laser Pulses

• DOI: 10.1021/ph500121d
• 发表时间: 2014-09-01
• 期刊: ACS PHOTONICS
• 影响因子: 7
• 作者: Michel, Ann-Katrin U.;Zalden, Peter;Taubner, Thomas
• 通讯作者: Taubner, Thomas

Dielectric properties of amorphous phase-change materials

• DOI: 10.1103/physrevb.95.094111
• 发表时间: 2017-03-14
• 期刊: PHYSICAL REVIEW B
• 影响因子: 3.7
• 作者: Chen, C.;Jost, P.;Wuttig, M.
• 通讯作者: Wuttig, M.

Specific Heat of (GeTe)x(Sb2Te3)1–x Phase-Change Materials: The Impact of Disorder and Anharmonicity

• DOI: 10.1021/cm500175j
• 发表时间: 2014-03
• 期刊: Chemistry of Materials
• 影响因子: 8.6
• 作者: P. Zalden;K. S. Siegert;S. Rols;H. Fischer;F. Schlich;Tengfei Hu;M. Wuttig