Hochauflösende Elektronenstrahlmikrosonde mit Feldemissionsquelle

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Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA) ist am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie (GFE) der RWTH Aachen eine unverzichtbare Methode zur analytischen Charakterisierung in verschiedenen materialwissenschaftlichen Anwendungsbereichen. Die letzte neue Mikrosonde wurde bereits vor über 18 Jahren beschafft, und die Störanfälligkeit dieses Gerätes hat in den letzten Jahren extrem zugenommen. Hinzu kommt, dass der Hersteller Mitte des letzten Jahres angekündigt hat, dass er zukünftig die Verfügbarkeit und Lieferung von Ersatzteilen nicht mehr garantieren kann. Die Vielzahl der am GFE mit Hilfe der Mikrosonde durchgeführten bzw. unterstützten Forschungsvorhaben machen dieses Instrument aber zu einem der wichtigsten Werkzeuge, zum Beispiel in der Untersuchung von Stählen und anderen Werkstoffen, aber auch in der Dünnschicht- und Oberflächenanalytik. Hinzu kommt, dass die Notwendigkeit in der Werkstoffentwicklung immer kleinere Strukturen immer genauer und umfassender zu charakterisieren, auch die Grenzen der vorhandenen Ausstattung aufzeigt. Im vorliegenden Antrag soll deshalb eine hochauflösende Mikrosonde mit Feldemissionsquelle beantragt werden. Wir planen die Realisierung einer experimentellen Auflösung im sub-100nm-Bereich. Zudem wollen wir in kombinierten experimentellen und theoretischen Untersuchungen nachweisen, dass durch Entfaltung mit dem Streuprofil eine Informationsauflösungsvermögen im Bereich von wenigen zehn Nanometern mit einer Mikrosonde realisierbar ist.