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Hochauflösende Elektronenstrahlmikrosonde mit Feldemissionsquelle

带场发射源的高分辨率电子束微探针

基本信息

批准号：
163310077
负责人：
金额：
--
依托单位：
Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2010
资助国家：
德国
起止时间：
2009-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/163310077?language=en
关键词：
Hochaufl sende Elektronenstrahlmikrosonde mit Feldemissionsquelle

项目摘要

Die Elektronenstrahlmikroanalyse (ESMA) ist am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie (GFE) der RWTH Aachen eine unverzichtbare Methode zur analytischen Charakterisierung in verschiedenen materialwissenschaftlichen Anwendungsbereichen. Die letzte neue Mikrosonde wurde bereits vor über 18 Jahren beschafft, und die Störanfälligkeit dieses Gerätes hat in den letzten Jahren extrem zugenommen. Hinzu kommt, dass der Hersteller Mitte des letzten Jahres angekündigt hat, dass er zukünftig die Verfügbarkeit und Lieferung von Ersatzteilen nicht mehr garantieren kann. Die Vielzahl der am GFE mit Hilfe der Mikrosonde durchgeführten bzw. unterstützten Forschungsvorhaben machen dieses Instrument aber zu einem der wichtigsten Werkzeuge, zum Beispiel in der Untersuchung von Stählen und anderen Werkstoffen, aber auch in der Dünnschicht- und Oberflächenanalytik. Hinzu kommt, dass die Notwendigkeit in der Werkstoffentwicklung immer kleinere Strukturen immer genauer und umfassender zu charakterisieren, auch die Grenzen der vorhandenen Ausstattung aufzeigt. Im vorliegenden Antrag soll deshalb eine hochauflösende Mikrosonde mit Feldemissionsquelle beantragt werden. Wir planen die Realisierung einer experimentellen Auflösung im sub-100nm-Bereich. Zudem wollen wir in kombinierten experimentellen und theoretischen Untersuchungen nachweisen, dass durch Entfaltung mit dem Streuprofil eine Informationsauflösungsvermögen im Bereich von wenigen zehn Nanometern mit einer Mikrosonde realisierbar ist.

Die Elektronenstrahlmikroanalysis（ESMA）is am Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie（GFE）der RWTH亚琛a unverzichtbare Methode zur analytischen Charakterisierung in versatienen materialwissenschaftlichen Anwendungsbereichen.新的Mikrosonde在18年前就已经开始了，而Störanfälligkeit的Gerätes在18年前就已经达到了极限。显然，在近几年的历史中，赫斯特勒·米特区并不总是能够保证其安全性和对环境的热爱。GFE的Vielzahl与Mikrosonde的Helfe一起使用。unterstützten Forschungsvorhaben machen dieses Instrument aber zu einem der wichtigsten Werkzeuge，zum Beispiel in der Untersuchung von Stählen und anderen Werkstoffen，aber auch in der Dünnschicht- und Oberflächenanalytik.因此，我们知道，在工厂的小结构中，没有什么是永恒的，也没有什么是永恒的。Antrag号将发射一个高精度的Mikrosonde微探头，并与Feldmissionsquelle beantragt韦尔登一起发射。我们计划在100纳米以下进行一次实验。随后，我们将通过实验和理论相结合的方法进行研究，利用微探头实现对纳米测量的信息流的测量。