Resonante Multiphotonen-Absorption und Ablation organischer Monolagen für Anwendungen in chemischen Sensoren und als unltradünne Resists

有机单层的共振多光子吸收和烧蚀，用于化学传感器和超薄抗蚀剂

• 批准号: 211798128
• 负责人: Professor Dr. Nils Hartmann
• 金额: --
• 依托单位: CENIDE - Center for Nanointegration
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2012
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2011-12-31 至 2017-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/211798128?language=en
• 关键词: Resonante; Multiphotonen; Absorption; und; Ablation

Organische Monolagen werden zunehmend in Biosensoren als chemische Template zur geordneten Anbindung von anderen Komponenten (Nanopartikel, Proteine, etc.) und als Resists in lithographischen Anwendungen eingesetzt. Für viele dieser Anwendungen ist eine flexible, großflächige, lateral hochaufgelöste und selektive Strukturierung der Schichten gefordert, was alternative Ansätze nur bedingt liefern können. Ziel des Vorhabens ist daher die Untersuchung der Strukturierungsmöglichkeiten organischer Monolagen mit ultrakurzen Laserpulsen. Neu an dem hier beschriebenen Ansatz ist die grundlegende Erforschung des Wellenlängen-Einflusses bei ultrakurzen Laserpulsen mit Hilfe neuer optischparametrischer Verstärker. Diese Option lässt eine exakte Abstimmung der Wellenlänge bzw. der Photonenenergie auch bei nichtlinearen Prozessen auf die Eigenschaften der Schicht und des Substrats, z.B. die Bandlücke zu. Bei gezielter Einstellung der Parameter kann so die direkte oder indirekte d.h. über das Substrat mediierte, Anregung der Materialien ohne parasitäre Wärmediffusion geschehen, was eine Strukturierung deutlich unterhalb von 100 nm ermöglicht. Die Untersuchungen werden auch helfen, die zugrunde liegenden Mechanismen aufzuklären. Zur Charakterisierung der Topographie, Morphologie, chemischen Zusammensetzung und tatsächlichen Funktion der Strukturen werden verschiedene, komplementäre mikroskopische Verfahren eingesetzt, ergänzt durch integrale Untersuchungsverfahren.

在Biosensoren ALS化学模板Zur geordneten Anbindung von and deren Komponenten(Nanopartikel，Proteine等)中组织单胶原。而ALS在平版安文顿版画中的抗药性较差。Für viele dieser Anwendungen是一种灵活的、横向的Hochaufelöste和选择性的Strukturierung der Schichten gefordert，是另一种选择。齐尔·德·沃哈本斯和达赫死于Strukturierungsmöglichkeiten组织者Monolagen MIT Ultrakurzen LaserPulsen。这是一个新的DEM Her Beschriebenen Anatz is die grundLegende Erforschung des Wellenlängen-Eifusses be Ultrakurzen LaserPulsen MIT Hilfe Neuer optischparetrischer Verstärker.我们的选项是：从光能到光能的转换，从材料到衬底的特性，z.b.die和lücke zu。这是因为它的参数不同，所以它的方向是独立的。从中层到中层，从材料到材料都是100 nm ermöglicht。我们需要帮助，也需要更多的技工来帮助他们。从地貌、形态、化学特征、形态特征、化学结构和结构功能等几个方面进行了系统的研究。