精密位置決め装置の共振特性を調整可能な速度フィードバック型の電気的ダンパの開発
精密位置決め装置の共振特性を調整可能な速度フィードバック型の電気的ダンパの開発
开发可调节精密定位设备共振特性的速度反馈型电动阻尼器
批准号：
21H04093
负责人：
Takahashi Akito
金额：
$0.28万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-04-01 至 2022-03-31
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