Hochgenaue Geometriebestimmung von Mikrobauteilen mit Computertomographie (CT) - Genauigkeitssteigerung durch moderne Rekonstruktions- und adaptive Messverfahren

通过计算机断层扫描 (CT) 高精度确定微元件的几何形状 - 通过现代重建和自适应测量方法提高精度

• 批准号: 31946842
• 负责人: Dr. Jürgen Goebbels
• 金额: --
• 依托单位: Abteilung 5 - Fertigungsmesstechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2006
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2005-12-31 至 2010-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/31946842?language=en
• 关键词: Hochgenaue; Geometriebestimmung; von; Mikrobauteilen; mit

Ziel des Vorhabens ist die hochgenaue und vollständige Erfassung innerer und äußerer Geometrien von Mikrobauteilen mittels Mikro-Computertomographie (µCT). Industriell wichtige Mikrobauteile sind z.B. Einspritzsysteme, Festplattenkomponenten oder Instrumente für die minimal-invasive Chirurgie. Typische Bauteilgrößen liegen hier im Bereich 0,1 mm - 100mm; typische zu messende Strukturen haben Größen von 0,5 µm - 500 µm. Mit klassischen Methoden der Messtechnik ist eine schnelle und hochgenaue Erfassung der gesamten Oberfläche von Mikrobauteilen bisher kaum möglich. Innenstrukturen von Mikrobauteilen können mit keiner optischen oder taktilen Messtechnik zerstörungsfrei gemessen werden. Diese Einschränkungen sollen mittels hochgenauer µCT überwunden werden. Hierzu soll der Messprozess simuliert werden, um die Anwendung von Korrekturverfahren zur Genauigkeitssteigerung zu ermöglichen. CT-Messungen an kalibrierten Mikroprüfkörpern sollen die Korrekturverfahren verifizieren. Für die Kalibrierung der Prüfkörper sollen Multisensor-Verfahren entwickelt und getestet werden. Diese sollen es erlauben, Prüfkörper gleichzeitig hochgenau und mit großer Messpunktdichte zu kalibrieren. Es ist geplant, die an Prüfkörpern erreichten Messunsicherheiten und Auflösungen zum Projektabschluss an realen, industriellen Mikrobauteilen (z.B. Mikrozahnrädern) messtechnisch nachzuweisen.

Ziel des Vorhabens ist die hochgenaue und vollständige Erfassung innerer und äußerer Geometrien von Mikrobauteilen mittels Mikro-Computertomographie（µCT）. Mikrobauteile sind z.B.微创外科手术系统，Festplattenkomponenten oder Instrumente für die minimal-invasive Chirurgie。典型的Bauteilgrößen liegen braim Bereich 0.1 mm -100 mm;典型的结构尺寸为0.5 µm - 500 µm。Mit klasschen Methoden der Messtechnik ist eine schnelle und hochgenaue Erfassung der gesamten Oberfläche von Mikrobauteilen bisher kaum möglich. Mikrobauteilen können mit keiner optischen oder taktilen Messtechnik zerstörungsfrei gemessen韦尔登的内部结构。这是一个非常复杂的韦尔登。Hierzu soll der Messprozess simuliert韦尔登，um die Anwendung von Korrekturverfahren zur Genauigkeitssteigerung zu ermöglichen. CT-Messungen an kalibrierten Mikroprüfkörpern sollen die Korrekturverfahren verifizieren. Für die Kalibrierung der Prüfkörper sollen Multisensor-Verfahren entwickelt und getestet韦尔登。这是一个很好的解决方案，它的设计非常出色，并且有很大的空间。Es ist geplant，die an Prüfkörpern erreichten Messunsicherheiten und Auflösungen zum Projektabschluss an realen，industriellen Mikrobauteilen（z.B. Mikrozahnrädern）messtechnisch nachzuweisen.