メンブレン型a-CaO犠牲層による酸化物３次元微細加工プロセスの開拓
メンブレン型a-CaO犠牲層による酸化物３次元微細加工プロセスの開拓
开发使用膜型a-CaO牺牲层的3D氧化物微加工工艺
批准号：
24K08245
负责人：
川江 健
金额：
$2.91万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
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