超音波スクイーズ効果を利用した300mmウェハ用非接触把持・回転装置に関する研究
超音波スクイーズ効果を利用した300mmウェハ用非接触把持・回転装置に関する研究
利用超声波挤压效应的300mm晶圆非接触夹持/旋转装置研究
批准号：
24K07293
负责人：
宮武 正明
金额：
$2.83万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2028-03-31
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静圧気体軸受により支持された超小型・高速スピンドルの開発
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批准号：18860066
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (Start-up)
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资助金额：$1.75万
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财政年份：2006
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负责人：宮武 正明
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依托单位：