超高速と高精度を両立する粗微動サーボ弁による非接触駆動エアステージの駆動制御法
超高速と高精度を両立する粗微動サーボ弁による非接触駆動エアステージの駆動制御法
采用粗动/微动伺服阀的非接触式驱动气平台的驱动控制方法，实现超高速和高精度
批准号：
24K07391
负责人：
藤田 壽憲
金额：
$2.83万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2027-03-31
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
静圧軸受機構を利用した高速・高精度空気圧サーボテーブルの開発
-
批准号：11750201
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
-
资助金额：$1.47万
-
财政年份：1999
-
负责人：藤田 壽憲
-
依托单位：