X-ray dynamic vector radiography using spiral-grating-based Talbot interferometer

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［研究の目的］Ｘ線Talbot干渉計を用いたＸ線位相イメージングでは、白色シンクロトロン放射光と組み合わせることにより、ミリ秒時間分解能での動的位相イメージング撮影及び４Ｄ位相トモグラフィー撮影が可能であることを示してきた。螺旋型透過回折格子で構築されるＸ線Talbot干渉計をＸ線ベクトルラジオグラフィー（ＸＶＲ）法と併用することにより、螺旋型透過回折格子の面内回転で、試料から数ミクロン程度の散乱ベクトル情報をサブミリ秒の時間分解能・高空間分解能で撮影できるシステムの開発を目的とした。試料の動きが不要となり、外部刺激を印加しやすくなることで、CFRPなどの有機・複合材料の外力による劣化の可視化技術として応用開発を図る。「研究実施計画」マイクロフォカスX線源を用いて位相格子の自己像を解像するのが一番直接であるが、自己像を解像できる高空間分解能の検出器が求められる。Talbot干渉計を構築することにより、高空間分解能検出器のリクエストが緩和される。吸収格子は超遠心力充填法により高アスペクト比の格子が製作可能であるが、現段階では製作容器により9mm角のものしか対応できない。深掘りRIE技術を用いて周期5～10ミクロン、深さ50ミクロン以上のシリコンモールドを製作して、SEMなどで評価を行った。9mm角と比較的小さい面積での作業であり、周期非常に均一でありながら、深さ50ミクロン程度のものが作られた。作製したシリコンモールド上金メッキすることで作製する予定であったが、コロナ禍で、東北大学西澤潤一記念研究センターの閉鎖と長時間休業により、位相格子（３本螺旋パータン）と一部シリコンモールドの製作及び金粉末の超遠心力による充填が実施できなかった。退職による資格喪失のため、研究継続ができなくなった。