ダイヤモンドパワーデバイス実現に向けたイオン注入プロセスに関する研究

实现金刚石功率器件的离子注入工艺研究

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  • DOI：
  • 发表时间：
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  • 作者：
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  • DOI：
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2016
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  • 作者：
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    山崎 聡,波多野 睦子
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2015
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    諏訪 泰介;岩崎 孝之;佐藤 一樹;加藤 宙光;牧野 俊晴;小倉 政彦;竹内大輔;山崎 聡;波多野 睦子
  • 通讯作者：
    波多野 睦子

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CDT 第 1 年，预计 2024 年 10 月
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