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ヘリウムイオン顕微鏡を用いた物性制御によるデバイス開発技術の研究

ヘリウムイオン顕微鏡を用いた物性制御によるデバイス開発技術の研究
利用氦离子显微镜控制物性的器件开发技术研究
批准号:
23K26152
负责人:
浦野 千春
金额:
$5.82万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-02-28 至 2026-03-31
关键词:

项目摘要

项目成果

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Research on device development technology by controlling physical properties using helium ion microscopy