縦型窒化アルミニウム素子の作製技術の確立
縦型窒化アルミニウム素子の作製技術の確立
立式氮化铝元件制造技术的建立
批准号：
23K26556
负责人：
奥村 宏典
金额：
$8.99万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-02-28 至 2027-03-31
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会议论文
Fabrication of vertical AlN devices
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批准号：23H01863
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
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资助金额：$11.9万
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财政年份：2023
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负责人：奥村 宏典
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依托单位：
成長初期過程に着目した炭化珪素基板上III族窒化物成長層の貫通転位低減
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批准号：09J05229
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$1.34万
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财政年份：2009
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负责人：奥村 宏典
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依托单位：