過渡的物性制御による半導体の超高速レーザ加工
過渡的物性制御による半導体の超高速レーザ加工
利用瞬态物理特性控制对半导体进行超高速激光加工
批准号：
23KJ0553
负责人：
REN GUOQI
金额：
$1.15万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-25 至 2025-03-31
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