金刚石表面热化学和等离子体辅助蚀刻的理论研究和设计-猫眼课题宝

金刚石表面热化学和等离子体辅助蚀刻的理论研究和设计

批准号：

23KJ1431

负责人：

Enriquez John Isaac G.

金额：

$1.15万

依托单位：

Osaka University

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for JSPS Fellows

财政年份：

2023

资助国家：

日本

项目状态：

未结题

起止时间：

2023-04-25 至 2025-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23KJ1431/

关键词：

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