光相関イメージングを用いた欠陥発生要因を分析可能な広域サブナノ欠陥検査法の確立
光相関イメージングを用いた欠陥発生要因を分析可能な広域サブナノ欠陥検査法の確立
建立利用光学相关成像分析缺陷发生因素的广域亚纳米缺陷检测方法
批准号：
23KJ1439
负责人：
片岡 将磨
金额：
$1.28万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-25 至 2025-03-31
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