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10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発
开发逐层蚀刻波前控制方法实现10nm分辨率极紫外（EUV）显微镜
基本信息
- 批准号：24H00434
- 负责人：
- 金额：$ 30.37万
- 依托单位：
- 依托单位国家：日本
- 项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
- 财政年份：2024
- 资助国家：日本
- 起止时间：2024-04-01 至 2028-03-31
- 项目状态：未结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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Eiji J. Takahashi
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- 影响因子：0
- 作者：
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柳原 美廣
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