10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発
10nm解像・極紫外(EUV)顕微鏡を実現するLayer by layerエッチング波面制御法の開発
开发逐层蚀刻波前控制方法实现10nm分辨率极紫外（EUV）显微镜
批准号：
24H00434
负责人：
豊田 光紀
金额：
$30.37万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2028-03-31
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会议论文
Optical design for grazing incidence multilayer mirrors for high-spatial resolution imaging in soft X-ray region
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批准号：20KK0312
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项目类别：Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
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资助金额：$8.99万
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财政年份：2021
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负责人：豊田 光紀
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依托单位：
実用アライメント誤差を許容する軟X線用結像光学系の開発
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批准号：17760037
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项目类别：Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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资助金额：$2.18万
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财政年份：2005
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负责人：豊田 光紀
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依托单位：