異種材料接合の表面処理における固体ソースH2Oプラズマ分布均一化のための改良
異種材料接合の表面処理における固体ソースH2Oプラズマ分布均一化のための改良
异种材料键合表面处理中均匀固体源H2O等离子体分布的改进
批准号：
24H02547
负责人：
遠西 美重
金额：
$0.28万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2024
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2024-04-01 至 2025-03-31
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