扫描探针显微镜声发射融合测量方法的研制-猫眼课题宝

扫描探针显微镜声发射融合测量方法的研制

批准号：

16K14123

负责人：

FUJISAWA Satoru

金额：

$2.33万

依托单位：

National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

依托单位国家：

日本

项目类别：

Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research

财政年份：

2016

资助国家：

日本

项目状态：

已结题

起止时间：

2016-04-01 至 2018-03-31

来源：

https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-16K14123/

关键词：

走査型プローブ顕微鏡 (SPM)スキャナ圧電体重畳信号アコースティックエミッション (AE)Cu (銅) 配線電気的・機械的破壊アコースティックエミッション（AE）摩擦力顕微鏡（FFM）Cu（銅）配線アコースティック・エミッション（AE）融石英表面ダイヤモンド走査型プローブ顕微鏡アコースティックエミッション確率共鳴

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