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移動プラズマ形超高速スパッタ法を用いた高周波用超低損失アモルファス薄帯磁心の開発

采用移动等离子体型超高速溅射法开发高频用超低损耗非晶薄带磁芯

基本信息

批准号：
01850066
负责人：
八木正昭
金额：
$ 2.3万
依托单位：
Miyagi National College of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1989
资助国家：
日本
起止时间：
1989 至 1991
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は,研究分担者・島田の考案によるU字形タ-ゲットをもつ移動プラズマ型スパッタ法を用いて,Co基アモルファス薄帯を長尺のフイルム基板上に成膜させ,超低損失の高周波用磁心材料を得ることを目的としている。研究計画は3か年の予定で,初年度には,主として,スパッタリング装置本体および周辺機器の設計・製作を行い,2年度から薄膜の試作を進めてきた。しかし,この間,装置の製作や種々の手直しに予想以上の期間と労力を費やしたため,計画は当初見込みより大幅に遅れる結果となった。本年度,ようやく成膜条件を制御して,優れた軟磁性をもつCo基のアモルファス薄膜が作製できる手掛かりが得られるようになった。しかし「研究経過報告書」にも記載したとおり,計画自体の遅れとアモルファス薄膜磁心を取り巻く研究開発状況の最近の大きな変化から,高周波用磁心材料としてのアモルファス薄膜は,さらに基礎的な検討が必要になったと考えられる。本研究計画は日程の上では一応終了するが,さらに1カ年程度,磁区観察による磁化機構など検討を詳しく行い,高周波用の超低損失アモルファス薄帯磁心についてとりまとめる予定で,現在,準備中ある。

In this study, the research contributor Tian Tian test project was designed to use the U-shaped device to move the device, the Co substrate was thin and thin, the film was formed on the substrate, and the ultra-low loss high cycle magnetic core material was used for the purpose of transmission. The research plan is scheduled for 3 years, and at the beginning of the year, the main body of the machine is designed for the first year, and the thin film for the second year is designed for further development. In the middle of the day, during the period, the equipment is used to make a variety of equipment, and you want to do the same during the above period, and plan to do a lot of work in the first place. This year, in order to improve the conditions for the formation of films, the magnetic properties of the films are determined, and the magnetic properties of the Co films are determined. In recent years, high-frequency core materials have been used to improve the performance of thin films, and it is necessary to use high-frequency magnetic core materials to improve the performance of thin films. In this study, there is a change in the calendar, the year is very high, the magnetic field is measured, the magnetization mechanism is in operation, and the high frequency is used in the ultra-low temperature field, the thin core and the thin core. Now, it is in preparation.