Development of photoresistless magnetic nano-patterning methods by using energetic ion beam

利用高能离子束开发无光致抗蚀剂磁性纳米图案方法

• 批准号: 23656592
• 负责人: IWASE Akihiro
• 金额: $ 2.41万
• 依托单位: Osaka Prefecture University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
• 财政年份: 2011
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2011 至 2013
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-23656592/
• 关键词: イオンビーム; 磁性パターニング; 鉄ロジウム合金; マイクロビーム; 磁性改質; 深部磁性改質; SQUID磁束計; 磁気力顕微鏡（MFM); 磁気力顕微鏡; 光電子顕微鏡

By using the energetic ion-microbeam irradiation to FeRh alloy, we successfully made two-dimensional magnetic patterns on FeRh surfaces. The magnetic patterns consisted of micrometer-scaled ferromagnetic, anti-ferromagnetic and paramagnetic regions. The micrometer-scaled magnetic patterns could be observed by means of XMCD-PEEM and MFM methods. We used the cluster ion beam irradiation to perform more effective modification of magnetic properties of FeRh alloy. The SQUID and XMCD measurements showed that the magnetization induced by the cluster ion beam was larger than that induced by single ion beam.

利用高能离子微束辐照FeRh合金，成功地在其表面制备了二维磁性图案。磁性图案由微米尺度的铁磁区、反铁磁区和顺磁区组成。利用XMCD-PEEM和MFM方法可以观察到微米尺度的磁图案。我们采用团簇离子束辐照对FeRh合金进行了更有效的磁性能改性。SQUID和XMCD测量表明，团簇离子束诱导的磁化强度大于单离子束诱导的磁化强度。

项目成果

FeRh合金薄膜上におけるイオンビーム照射誘起面内微細磁気構造のXMCD-PEEM観察

FeRh合金薄膜离子束辐照诱导面内精细磁结构的XMCD-PEEM观察

• 发表时间: 2012
• 作者: 唐木淳志, 愛甲一馬 大阪府大工 松井利之;岩瀬彰宏;大河内拓雄, 小嗣真人;中村哲也;木下豊彦
• 通讯作者: 木下豊彦

1-3 keV Arイオンビーム照射によりFeRh薄膜に誘起された表面強磁性のその場XMCD観察と熱処理効果

1-3 keV Ar离子束辐照及热处理效应诱导FeRh薄膜表面铁磁性的原位XMCD观察

• 发表时间: 2012
• 作者: 田島西夜;図子秀樹;松井 利之，岩瀬彰宏，酒巻真粧子，雨宮健太
• 通讯作者: 松井 利之，岩瀬彰宏，酒巻真粧子，雨宮健太

FeRh 薄膜におけるイオンビーム照射誘起強磁性の熱的回復挙動

FeRh 薄膜中离子束辐照诱导铁磁性的热恢复行为

• 发表时间: 2011
• 作者: 米田和弘;唐木淳志;石神龍哉;岩瀬彰宏;松井利之
• 通讯作者: 松井利之

In-situ observation of annealing effect on the irradiation induced magnetic domain structure by XMCD-PEEM

XMCD-PEEM原位观察退火对辐照感应磁畴结构的影响

• 发表时间: 2013
• 作者: Tohki;Atsushi; Aikoh;Kazuma; Shinoda;Ryoichi; Ohkochi,Takuo; Kotsugi;Masato; Nakamura;Tetsuya; Kinoshita;Toyohiko; Iwase;Akihiro; Matsui,Toshiyuki
• 通讯作者: Akihiro; Matsui,Toshiyuki

1-3keVArイオンビーム照射によりFeRh 薄膜に誘起された表面磁性のその場XMCD観察

1-3keVAr离子束照射FeRh薄膜表面磁性的原位XMCD观察

• 发表时间: 2011
• 作者: 松井利之;愛甲一馬;唐木淳志;岩瀬彰宏;酒巻真粧子;雨宮健太
• 通讯作者: 雨宮健太