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Development of Laser Plasma X-ray Lithography System

Development of Laser Plasma X-ray Lithography System
激光等离子体X射线光刻系统的研制
批准号：
61850071
负责人：
NAKAI Sadao
金额：
$9.22万
依托单位：
Institute of Laser Engineering, Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
财政年份：
1986
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1986 至 1987
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-61850071/
关键词：
Laser plasmaHigh power laserFrequency conversionNonlinear optical crystalX-ray lithographyHigh intensity point X-ray sourceサブミクロン加工軟X線

项目摘要

项目成果

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We hav edeveloped a laser-plasma-X-ray-lithography system for sub-micron processing. The Key issues of the developments and the results are as follows:(1) Characterization of X-ray generation by repetitive laser, laser irradiation target, dobris generation.(2) Development of rotating target for repetitive laser shot.(3) Vacuum sealing for soft X-ray lithography.(4) Development of high repetitive laser with good focusability.(5) Development of nonlinear optical crystal of low absorption ofr high repetitive operation.
期刊论文(23)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
中井貞雄他: 電気学会研究会資料 光・量子デバイス研究会. OQC-86. 47-56 (1986)
Sadao Nakai 等人：日本电气工程师学会材料研究组，光学和量子器件研究组。OQC-86 (1986)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
S. Nakai: "Laser Fusion Reactor" Kakuyugo-Kenkyu (in Japanese). 58. 35-39 (1987)
S. Nakai：“激光聚变反应堆”Kakuyugo-Kenkyu（日语）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
中井貞雄: 原子力工業. 33. 67-77 (1987)
中井贞夫：核工业。33. 67-77 (1987)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
S. Nakai: "Nuclear Engineering" Laser Fusion (in Japanese). 33. 67-77 (1987)
S. Nakai：“核工程”激光聚变（日语）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 11 条
    Energy transport processes in dense plasmas heated with intense thermal x-rays
    • 批准号：
      05044100
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for international Scientific Research
    • 资助金额：
      $3.2万
    • 财政年份：
      1993
    • 负责人：
      NAKAI Sadao
    • 依托单位：
      Osaka University
    Research on X-Ray Radiation from Laser Plasmas
    • 批准号：
      63045019
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for international Scientific Research
    • 资助金额：
      $4.42万
    • 财政年份：
      1988
    • 负责人：
      NAKAI Sadao
    • 依托单位：
      Osaka University
    海外基金