Development of Laser Plasma X-ray Lithography System

激光等离子体X射线光刻系统的研制

• 批准号: 61850071
• 负责人: NAKAI Sadao
• 金额: $ 9.22万
• 依托单位: Institute of Laser Engineering, Osaka University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Developmental Scientific Research
• 财政年份: 1986
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1986 至 1987
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-61850071/
• 关键词: Laser plasma; High power laser; Frequency conversion; Nonlinear optical crystal; X-ray lithography; High intensity point X-ray source; サブミクロン加工; 軟X線

We hav edeveloped a laser-plasma-X-ray-lithography system for sub-micron processing. The Key issues of the developments and the results are as follows:(1) Characterization of X-ray generation by repetitive laser, laser irradiation target, dobris generation.(2) Development of rotating target for repetitive laser shot.(3) Vacuum sealing for soft X-ray lithography.(4) Development of high repetitive laser with good focusability.(5) Development of nonlinear optical crystal of low absorption ofr high repetitive operation.

我们开发了一种用于亚微米加工的激光等离子体x射线光刻系统。本研究的主要进展和结果如下：(1)重复激光产生x射线的表征，激光辐照靶，光斑产生。(2)激光重复射击旋转靶的研制。(3)软x射线光刻真空密封。(4)高重复性、高聚焦性激光器的研制。(5)开发低吸收、高重复操作的非线性光学晶体。

项目成果

中井貞雄他: 電気学会研究会資料 光・量子デバイス研究会. OQC-86. 47-56 (1986)

Sadao Nakai 等人：日本电气工程师学会材料研究组，光学和量子器件研究组。OQC-86 (1986)。

S. Nakai: "Laser Fusion Reactor" Kakuyugo-Kenkyu (in Japanese). 58. 35-39 (1987)

S. Nakai：“激光聚变反应堆”Kakuyugo-Kenkyu（日语）。

中井貞雄: 原子力工業. 33. 67-77 (1987)

中井贞夫：核工业。33. 67-77 (1987)

S. Nakai: "Nuclear Engineering" Laser Fusion (in Japanese). 33. 67-77 (1987)

S. Nakai：“核工程”激光聚变（日语）。

中井貞雄: 科学. 57. 649-653 (1987)

中井贞夫：科学 57. 649-653 (1987)