微細構造体内に浸入する液体挙動の解明
阐明液体渗透到微观结构中的行为
基本信息
- 批准号:22K14176
- 负责人:
- 金额:$ 2.91万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
- 财政年份:2022
- 资助国家:日本
- 起止时间:2022-04-01 至 2025-03-31
- 项目状态:未结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
半導体の製造工程やマイクロ・ナノスケールのデバイス開発の分野における微細構造体の洗浄や表面処理に用いるウェット処理では,表面に化学処理を行い所望の性能や特性を付加するために極めて高い精度での液体の浸入特性の制御や処理後の他の液体への置換,さらには除去作業などが必要である.しかしながら,これらの微細な構造体の表面処理に関する流体力学的な研究は必ずしも十分に確立されていない.さらに,微細構造体に限らず被処理面の特性に応じた最適なコーティング技術は,自動車や船舶,建造物などの塗装分野など様々な場面でも利用されている.これらの分野においても錆止めや曇り止めなどの機能を与えるといった役割もあり,固気液界面が関わる流体力学問題は今後とも極めて重要な研究分野になると考えられる.そこで本研究では,微細構造物への液体の浸入特性,置換特性,除去過程をそれぞれ系統的に明らかにすることを目的としている.本年度は特に微細構造物への液体の浸入特性について重点的に取り組んだ.1辺が15mmのガラスキューブを2つ平行に設置し,それらの隙間にシリンジポンプを用いて超純水を滴下した.ガラスキューブの側面からカメラを用いて液体の浸入特性を撮影し,ガラスキューブの隙間δと,液体の流量Qを変更しながらそれぞれの条件による挙動の違いを観察した.流量Qを固定して隙間δを変化させると,隙間が狭い場合はガラスキューブの断面積全体に液体が満たされたが,隙間が大きくなると液体が満たされる前に周囲から液体が落下した.隙間δを固定して流量Qを変化させた場合では,液体の浸入挙動に大きな影響は見られなかった.浸入挙動には隙間δが大きく関係しており,流量Qによる影響は小さいことが分かった.
In the construction of semi-solid structures, the mechanical properties of the surface are analyzed in detail. The chemical properties of the surface are expected to increase the accuracy of the immersion characteristics of the liquids. In order to remove the necessary information for the operation, it is necessary to make sure that the study of hydrodynamics is very important, and that the micro-structure is limited by the characteristics of the surface, and the ship is self-operated. The construction equipment is very important in the field of research. In this study, the mechanical and mechanical properties of the solid-liquid interface are analyzed, and the fluid mechanics problems are studied in the future. Set the feature, excluding the information system of the process control system. The purpose of this year is to provide information on how to immerse the liquid in the characteristics of the system. 1. This year, the parallel setting of the 15mm operating system is very important. In the middle of the air gap, the temperature field, the temperature, the temperature, the surface, the characteristics, the flow rate, the gap, the flow rate, the temperature, the flow rate, the The gap is close to the temperature field. All the liquid in the cross section is closed, and the liquid in the gap is large. In the gap, the flow rate is fixed, the flow rate is fixed, and the liquid is immersed in the air conditioner. Immerse the liquid into the engine room and immerse the liquid in the air. The traffic volume is very small and the traffic volume is very small.
项目成果
期刊论文数量(1)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Observation of liquid penetration behavior into narrow space
观察液体进入狭窄空间的渗透行为
- DOI:
- 发表时间:2023
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Siwei Liu;Tomoki Nakajima;Takehiko Sato;Ayako Yano
- 通讯作者:Ayako Yano
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矢野 絢子其他文献
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