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ハフニア系強誘電体薄膜/電極界面の原子層スケールでの界面反応制御指針の明確化

ハフニア系強誘電体薄膜/電極界面の原子層スケールでの界面反応制御指針の明確化
澄清在铪基铁电薄膜/电极界面原子层尺度上控制界面反应的指南
批准号:
24K17304
负责人:
女屋 崇
金额:
$3.0万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份:
2024
资助国家:
日本
项目状态:
未结题
起止时间:
2024-04-01 至 2026-03-31
关键词:

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项目成果

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Study on ferroelectric HfxZr1-xO2 ultra-thin films fabricated using atomic layer deposition for three-dimensional device applications
  • 批准号:
    18J22998
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 资助金额:
    $1.41万
  • 财政年份:
    2018
  • 负责人:
    女屋 崇
  • 依托单位: