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真空中静電浮上位置決めテーブルの開発

真空中静電浮上位置決めテーブルの開発
真空静电悬浮定位台的研制
批准号:
13750191
负责人:
新野 俊樹
金额:
$0.77万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
2001
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2001 至 --
关键词:

项目摘要

项目成果

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超高真空対応超音波モータの高度化に関する研究
  • 批准号:
    17040010
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
  • 资助金额:
    $9.22万
  • 财政年份:
    2005
  • 负责人:
    新野 俊樹
  • 依托单位:
真空中静電浮上および浮上体の駆動に関する研究
  • 批准号:
    14750155
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额:
    $1.92万
  • 财政年份:
    2002
  • 负责人:
    新野 俊樹
  • 依托单位:
静電力によって駆動される,ロボットハンド用軽量・高出力アクチュエータの開発