無電源を特徴とするマイクロマシニングを用いた水素ガスセンサの検討
無電源を特徴とするマイクロマシニングを用いた水素ガスセンサの検討
无电源微加工氢气传感器的研究
批准号：
16919064
负责人：
長沼 博
金额：
$0.45万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2004
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2004 至 --
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会议论文
能動素子―体型ひずみセンサーを応用した半導体集積化水素ガスセンサーの検討
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批准号：18918027
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
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资助金额：$0.49万
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财政年份：2006
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负责人：長沼 博
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依托单位：
真空蒸着における不純物放出をおさえた蒸発源の試作
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批准号：05914013
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项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
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资助金额：$0.13万
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财政年份：1993
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负责人：長沼 博
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依托单位：