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軟X線反射率計の光源機構の改良

软X射线反射仪光源机构的改进

基本信息

批准号：
21920018
负责人：
古舘三七二
金额：
$ 0.34万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
财政年份：
2009
资助国家：
日本
起止时间：
2009 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-21920018/
关键词：
レーザー生成プラズマ光源軟X線発光

项目摘要

研究代表者は,特別推進研究の補助で先端計測開発センターが世界に先駆けて試作開発した軟X線反射率計について,レーザー生成プラズマ光源点の位置決め機構を,新方式の簡便な調整で高精度を実現し,それを維持することを目的とした.現状の円柱ターゲットを板状ターゲットに変更し,それに合わせた駆動機構を改良した.市販の大気用1軸のスライドテーブルを2個購入し,直交させ,真空用に加工・洗浄,組み立てた.垂直駆動は現状のモータを利用,水平駆動用のステッピングモータを新規購入した.新規購入のパーソナルコンピューターにドライバーを組み込み,VisualBasicで駆動と測定ソフトウェアを作成,全システムを構成した.完成後の水平軸の変位は,約30mmの範囲で3μ以内に収まった.この機構を10-30nm軟X線反射率計に組み込み,ターゲット材Ge,Sn,Ta,Wで発光強度と波長依存性を測定した.13nm付近ではW,Ta,GeともEMTの印加電圧600Vから800Vで受光でき,これまで使ってきたSmよりも強度は強いことが分かった.測定した中ではWが最適で,Snはデブリとショット痕が大きく不向きである.また,平面ターゲットを使用したため反射率計後方からの光軸調整用のHe-Neレーザー光が,YAGレーザーまで到達することになり,連の光軸調整が迅速にできるようになるという副産物もあった.発光特性を測定した諸条件や結果は東北大学多元物質科学研究所技術室報告第9号に報告した.これからこの機構を水の窓軟X線反射率計に組み込むつもりである.

Research representatives are particularly pushing forward with research grants to develop advanced measurement systems in the world. They are trying to develop soft X-ray reflectivity measurement systems to generate light source position determination mechanisms and new ways to easily adjust high accuracy to achieve and maintain this goal. The current situation is that the plate shape is changed, and the driving mechanism is improved. The market for large gas 1 axis of the design, 2 purchase, direct contact, vacuum processing, washing, assembly. The vertical movement of the status quo, horizontal movement of the status quo, the purchase of new rules. New rules for purchase of software, Visual Basic software and test software, all system components After completion of the horizontal axis position, about 30mm and within 3μ. The wavelength dependence of the emission intensity of Ge,Sn,Ta,W in the range of 10-30nm soft X-ray reflectance meter was determined. The wavelength dependence of the emission intensity of Ge,Sn,Ta,W in the range of 13 nm was determined. To determine the optimum conditions,Sn is the most appropriate. The plane is used to adjust the optical axis of the laser beam, and the laser beam is used to adjust the optical axis of the laser beam. The results of the determination of optical properties are reported in the Technical Office of the Institute of Multidimensional Materials Science, Tohoku University. The structure of the water and the soft X-ray reflectivity meter are arranged in the same way.