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光学的に測定した作業面ドポグラフィによる研削砥石作業面状態のインプロセス評価法

利用光学测量工作表面多普勒成像的砂轮工作表面状况在线评估方法

基本信息

批准号：
09750149
负责人：
坂本治久
金额：
$ 1.34万
依托单位：
Sophia University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

本年度は,作業面トポグラフィをインプロセス測定するための課題点とその対策について検討し,実研削条件と同等の条件下で作業面トポグラフィを測定することを試みた.作業面トポグラフィをインプロセス測定するためには,次の二つの課題を解決する必要がある.第一は高速で回転する砥石に対して十分なサンプリング点数でプロファイルを測定しなければならないことである.そして第二は,研削液供給中に継続して測定でき,プロファイル測定結果が研削液による悪影響を受けないことである.第一の課題を解決するためには,レーザ変位計の応答速度を高速化する必要がある.そこでレーザ変位計を改造し,800kHzでの高速サンプリングを可能にした.これにより,60番の砥石でサンプリング間隔42μm(砥粒径の1/6)としても最高で周速33.6m/sでの測定が可能となった.第二の課題である研削液の影響に対して,高圧エア噴射によるレーザ変位計の保護および作業面上の研削液除去を試みた.まず,変位計ケース上端より高圧エアを供給し小径に絞り込んだレーザ光照射口から噴出させることにより,研削液が変位計に付着することを防止した.さらに,研削液を除去するため高圧エアを作業面に噴射し,飛散した研削液を吸引するようにした.これらの検討の結果,WA60J7V砥石を砥石周速29.4m/sで回転させ,研削液を供給しながら作業面プロファイルを測定することが可能になった.測定されたプロファイルは研削液の供給の有無に関わらずピーク位置が良く一致し,ピークの高さおよび形状も概ね一致した.さらに,作業面プロファイルの相対度数分布を研削液の供給の有無により比較したところ,これも良く一致していることを確認できた.以上の結果より,インプロセス測定した作業面トポグラフィに基づいて作業面状態を評価できる可能性を見い出すことができた.

This year, the working surface is tested under the same conditions. The second problem is to solve the problem. The first is to measure the number of points in the first round of high speed rotation. Second, the grinding solution supply is affected by the grinding solution. To solve the first problem, it is necessary to speed up the response speed of the computer. High speed switching at 800kHz is possible. For this reason, the 60-degree quartz grain size separation interval is 42μm(1/6 of grain size), and the highest circumferential velocity is 33.6 m/s. The second problem is the influence of grinding liquid on the high pressure jet, the protection of the position meter and the removal of grinding liquid on the working surface. The upper end of the grinding liquid meter is high in pressure and small in diameter, and the grinding liquid is high in pressure and small in diameter. The grinding fluid is removed from the working surface at high pressure, and the grinding fluid is sprayed and scattered. As a result of this investigation,WA60J7V grinding stone has a circular speed of 29.4 m/s, and the grinding solution is supplied to the working surface. The determination of the presence or absence of grinding solution is consistent with the position and shape of the grinding solution. In addition, the relative degree distribution of grinding solution on the working surface is compared, and the consistency is confirmed. The above results show that the working surface is determined according to the basic conditions.