薄膜トランジスタパネルを使用したデジタルエックス線撮影装置の開発と応用

薄漠トランジスタパネルを用いたエックス線検出器を開発するために、入射エックス線を効率的に電気信号へと変換する光導電変換層として無結晶性セレニウムを薄膜トランジスタパネル上に真空蒸着した。変換効率の良い光導伝変換層を作製するためには真空蒸着時の装置内圧力と炉の温度および被蒸着体である薄摸トランジスタパネル加温温度に、極限られた範囲の適正条件が存在することが明らかになった。そして、無結晶セレニウム蒸着薄摸トランジスタパネル上に絶縁性の接着剤を均一に塗布し、その上に導電性薄摸シートを接着することによって、随時バイアス電圧を印可することを可能とした。この多層薄摸ドランジスタパネルは、バイアス電圧の存在下でエックス線の照射により生じた電子孔対を直ちに電子と正孔に解離し、コンデンサー部に正孔を集積した。パネル上の全てのコンデンサーに蓄蹟された荷電は、ゲートドライバーでトランジスタを制御することにより順次読み出すことが可能であった。またソースラインと荷電増福語を接読し、さらにアナログ・デジタル変換器を接続することにより、荷電量をデジタル信号としてコンピュータに取り込むことが可能となった。多層薄膜トランジスタパネルと周辺回路の接続にはワイヤーボンディング法とヒートシール法を試みたが、ヒートシール法は接着温度による伸縮が激しく位相のずれやライン間のショートを生じる場合があることから、ワイヤーボンディング法が適していることが明らかとなった。さらに、デジタル信号としてコンピュータに取り込んだ全素子のXY座標情報と信号強度情報を、視覚的に認識できる2次元の画像情報としてCRTディスプレーおよびフィルム上に出力することを可能にした。そして作製した画像の視覚評価を行い、本検出器で撮影したエックス線画像が従来のスクリーンフィルムシステムで撮影した画像と同等の診断能を有することを明らかにした。

薄漠トランジスタパネルを用いたエックス線検出器を開発するために、入射エックス線を効率的に電気信号へと変換する光導電変換層として無結晶性セレニウムを薄膜トランジスタパネル上に真空蒸着した。変換効率の良い光導伝変換層を作製するためには真空蒸着時の装置内圧力と炉の温度および被蒸着体である薄摸トランジスタパネル加温温度に、極限られた範囲の適正条件が存在することが明らかになった。そして、無結晶セレニウム蒸着薄摸トランジスタパネル上に絶縁性の接着剤を均一に塗布し、その上に導電性薄摸シートを接着することによって、随時バイアス電圧を印可することを可能とした。この多層薄摸ドランジスタパネルは、バイアス電圧の存在下でエックス線の照射により生じた電子孔対を直ちに電子と正孔に解離し、コンデンサー部に正孔を集積した。パネル上の全てのコンデンサーに蓄蹟された荷電は、ゲートドライバーでトランジスタを制御することにより順次読み出すことが可能であった。またソースラインと荷電増福語を接読し、さらにアナログ・デジタル変換器を接続することにより、荷電量をデジタル信号としてコンピュータに取り込むことが可能となった。多層薄膜トランジスタパネルと周辺回路の接続にはワイヤーボンディング法とヒートシール法を試みたが、ヒートシール法は接着温度による伸縮が激しく位相のずれやライン間のショートを生じる場合があることから、ワイヤーボンディング法が適していることが明らかとなった。さらに、デジタル信号としてコンピュータに取り込んだ全素子のXY座標情報と信号強度情報を、視覚的に認識できる2次元の画像情報としてCRTディスプレーおよびフィルム上に出力することを可能にした。そして作製した画像の視覚評価を行い、本検出器で撮影したエックス線画像が従来のスクリーンフィルムシステムで撮影した画像と同等の診断能を有することを明らかにした。