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マルチワイヤソーの加工特性に及ぼすスラリー組成の影響と最適加工条件の解明

浆料成分对多线锯加工特性的影响及最佳加工条件的阐明

基本信息

批准号：
11750109
负责人：
諏訪部仁
金额：
$ 1.22万
依托单位：
Kanazawa Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1999
资助国家：
日本
起止时间：
1999 至 2000
项目状态：
已结题

项目摘要

シリコンインゴットのスライシング技術の1つに遊離砥粒を用いたワイヤスライサ(マルチワイヤソー)がある.そこで本研究は,マルチワイヤソー方式の加工特性に及ぼすスラリー組成の影響に加えて,その最適加工条件についても解明することに主眼をおき,実施した.具体的には,スラリーの評価指標としてはそれが示す粘度の挙動に着目し,それをレオロジー的側面から理論的解析を行い,その際における加工特性を一連の実験によって検証した.更に,マルチワイヤソー方式ではワイヤに対する工作物送りを上昇方式及び下降方式の採用が一般的であるものの,それらが示す相違点は殆ど明確にされていない.そこで,工作物送り方式の相違による加工特性の影響についても実験的に検討した.その結果明らかとなった事柄を以下に述べる.1.工作物上昇方式ワイヤソーと工作物下降方式ワイヤソーにおいてスライシング実験を行い,工作物送り方式の相違による加工特性を比較検討することによって,各スライシング方式に要求されるスラリーの組成について検討した.その結果,工作物上昇方式ではスラリー粘度は低い方がよく,砥粒濃度も高くできる.また,工作物降下方式ではワイヤ間あるいはワイヤ下部に形成されるスラリー膜が加工部へのスラリー供給量を支配することが明らかとなった.2.工作物上昇方式ワイヤソーを用いてスライシング実験を行い,砥粒濃度の相違による加工特性について実験的に検討した結果,Jefferyの縣濁液の粘度理論式とスラリー粘度が離れる付近で加工能率の最大値を示すことが明らかとなった.3.工作物降下方式ワイヤソーにおいて,振動切断を行うとワイヤ上に付着したスラリー(加工部へ供給される)は振動と共に上下方向へ往復移動し続けることが明らかとなった.

The first step in the development of the technology is to use the technology to improve the quality of the products. In this study, the processing characteristics of the processing method and the influence of the processing composition were studied, and the optimum processing conditions were obtained. The specific evaluation index of the viscosity is shown in the dynamic analysis of the viscosity, the theoretical analysis of the viscosity is shown in the dynamic analysis of the viscosity, and the processing characteristics are shown in the dynamic analysis. In addition, the way to send work is to raise the way and lower the way to use the general, but also to show that the point of violation is almost clear. In this case, the influence of workpiece feeding mode on machining characteristics is discussed. The results are as follows: 1. Workpiece lifting mode and workpiece lowering mode are described in detail below. 2. Workpiece lifting mode and workpiece lowering mode are described in detail below. 3. Workpiece feeding mode and workpiece feeding mode are described in detail below. 4. Workpiece feeding mode and workpiece feeding mode are described in detail below. As a result, the working substance rises in a different way. The viscosity is low and the grain concentration is high. 2. Working material lifting mode: the process of grain concentration is different from the process of grain concentration. The theoretical formula of viscosity of Jeffery County shows that the maximum value of machining energy is close to the working part. 3. The working part is lowered in the middle of the vibration.