Lithographiesystem

光刻系统

• 批准号: 421755099
• 金额: --
• 依托单位: Universität Leipzig
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2018-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/421755099?language=en
• 关键词: Lithographiesystem

Lithographie ist für die Herstellung von elektronischen Bauelementen und Schaltungen, Sensoren, MEMS oder Kontakten zu nanoskopischen Quantensystemen unabdingbar. Die am Institut genutzte Fotolithographie beruht bisher auf der Verwendung von Muttermasken. Die benötigten Muttermasken werden durch Fremdfirmen gefertigt. Dieses Verfahren ist jedoch aufwendig und sehr zeitraubend. Zudem ist es sehr unflexibel und führt immer wieder zu mehrwöchigen Unterbrechungen der Projektarbeiten. Das beantragte Gerät ermöglicht die flexible, maskenlose Belichtung beliebiger Strukturen. Die maximal erreichbare Auflösung einer Standard-Fotolithographie beträgt zudem nur 600 nm. Um in den Nanometerbereich vorzurücken, muss die Lithographie mittels E-beam oder einer AFM-basierten Technik erweitert werden. Das beantragte Gerät kombiniert die hochauflösende Fotolithographie mit der Nanolithographie, um Bauelemente auch für Nanotechnologie herstellen zu können. AFM-basierte Lithografie, entwickelt an der Universität Ilmenau, kann in den einstelligen Nanometerbereich vordringen. Dabei wird die AFM-Spitze als Elektronenemitter genutzt, und kann so kontaktfrei Polymere strukturieren. Zur sofortigen Kontrolle der Strukturen sollen die Lithographie-Geräte im Reinraum zusammen mit einem Raster-Elektronenmikroskop betrieben werden.

光刻技术人员<s:1> die Herstellung von elektronischen Bauelementen und schaltunen, Sensoren, MEMS oder Kontakten zu nanoskopischen Quantensystemen undingbar。德国皇家版画研究所，由德国画家冯·穆特马斯肯主持。Die benötigten Muttermasken werden荷兰fredfirmen gefertigt。德国人是犹太人，他们是犹太人，他们是犹太人。Zudem ist es sehr unflexibel und fhrt immer wieder zu mehrwöchigen Unterbrechungen der projektarbeen。Das beantragte Gerät ermöglicht模具灵活，maskenlose Belichtung belbiger Strukturen。模具最大光刻精度Auflösung einer标准光刻beträgt zudem值600 nm。纳米光刻技术，激光光刻技术，电子束光刻技术，原子力显微镜技术。Das beantragte Gerät kombiniert die hochauflösende fotolithography mit der nanolthography, um Bauelemente auth Nanotechnologie herstellen zu können。基于原子力显微镜的光刻技术，entwickelt and der Universität Ilmenau， kanden in den智能纳米成像技术。大北风模AFM-Spitze - aleletronemitter genutzt，以及kann - kontaktfrei Polymere structurien。[3][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1][1]。