SOIウェハを用いたダイアフラム型圧力センサの研究
SOIウェハを用いたダイアフラム型圧力センサの研究
基于SOI晶片的隔膜压力传感器的研究
批准号：
01918056
负责人：
足木 光昭
金额：
$0.14万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
财政年份：
1989
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1989 至 --
中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
マイクロマシニング技術を用いた血球カウンターの基礎研究
-
批准号：12919070
-
项目类别：Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
-
资助金额：$0.15万
-
财政年份：2000
-
负责人：足木 光昭
-
依托单位：