反応性イオンビームエッチによる面発光レーザ用極微共振器の低損傷加工に関する研究
反应离子束刻蚀面发射激光器微腔低损伤加工研究
基本信息
- 批准号:04919059
- 负责人:
- 金额:$ 0.12万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (B)
- 财政年份:1992
- 资助国家:日本
- 起止时间:1992 至 无数据
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
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