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IT・OE用基板のレーザークリーニング機構の実空間・時間分解応力測定による検証

使用真实空间和时间分辨应力测量验证 IT/OE 基板的激光清洁机制

基本信息

批准号：
16656224
负责人：
伊藤義郎
金额：
$ 2.18万
依托单位：
Nagaoka University of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2004
资助国家：
日本
起止时间：
2004 至 2005
项目状态：
已结题

项目摘要

先端オプトロニクス用の基板に対するレーザークリーニングの適用が実用化され始めている。このレーザークリーニングの機構については、いくつかのモデルが提案されているが、結論は得られていない。この現象は、ミリメートル以下の微小な空間領域での高速現象であるため、従来我々が使用してきたパルスレーザーによる時間分解イメージングシステムの空間分解能を向上させて、実空間・時間分解測定による検討を試みた。光学系等を改良した結果、従来40倍程度であった拡大率を200倍にまで上げることが出来た。クリーニング用レーザーとしては、現有のナノ秒パルスNd:YAGレーザーを用いた。基板内部での過渡応力の時間分解光弾性イメージングに関しては、通常の基板では光弾性係数が小さく、有用な光弾性イメージが得られないため、より光弾性係数の高い高分子材料(エポキシ樹脂)をモデル基板として用いることとした。モデル付着粒子として、粒径の異なる2種類のアルミナの粒子を用いた。付着粒子の飛散除去過程の、ナノ秒からミリ秒領域でのシャドウグラフおよび光弾性イメージの時間分解撮影に成功し、以下の点が明らかになった。(1)付着粒子の飛散は、レーザー照射後40〜50μs経ってから観察されるようになる。(2)レーザー照射によって発生する衝撃波や圧力波は、飛散が起こるより以前に拡散してしまっている。(3)固体内部のレーザー誘起応力は、付着粒子の有無による影響を受けていないように見える。(4)付着粒子の飛散が生じる際にも、基板内部には顕著な応力の発生は見られない。これらの結果は、衝撃力による粒子の除去モデルとは合致しない。付着粒子と基板表面を含む熱的な影響を考慮する必要があることを示唆している。また、本研究で提案した手法が、レーザークリーニング現象の研究に有効であることを、実証していると考えている。

The application of the base plate for the first time in the history of science and technology The mechanism of this kind of information is to propose and conclude the proposal. This phenomenon is characterized by high speed phenomena in the following small spatial domains: spatial decomposition energy, temporal decomposition energy, and spatial decomposition energy. The optical system was improved to 40 times the original size and 200 times the original size. There is no such thing as a Nd:YAG laser. The time resolution of the transition force inside the substrate is related to the optical property coefficient of the substrate. The optical property coefficient of the substrate is usually small, and the optical property coefficient of the substrate is high. The particle size and particle size are different. In the process of particle scattering removal, the following points are made clear: (1)40 ~ 50μs after irradiation, the particles are scattered and observed. (2)The shock wave and pressure wave generated by the radiation are scattered before the radiation. (3)The internal forces of solids are induced by the presence or absence of particles. (4)When particles are scattered, they are generated inside the substrate. As a result, the impact force of the particles is removed. It is necessary to consider the influence of heat on the surface of the particle This paper proposes a method to study the phenomenon of "

项目成果

期刊论文数量（12）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Laser-induced transient stress field studied by time-resolved photoelasticity technique

时间分辨光弹性技术研究激光诱导瞬态应力场

DOI：
发表时间：
2006
期刊：
Proceedings of LAMOM XI, Proc. of SPIE (in press)
影响因子：
0
作者：
T.Ohno;H.Suzuki;H.Masui;K.Ishikawa;M.Fujimoto;T.Mugishima;T.Mugishima;O.Yoshinari;T.Omori;K.Ando;T.Omori;M.Jiang;Yoshiro ITO
通讯作者：
Yoshiro ITO

アブレーション加工におけるレーザー作用の、時間分解イメージングによる検討

使用时间分辨成像检查激光在烧蚀加工中的作用