1MHzのビジュアルフィードバックを可能とするビジョンセンサの開発

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本研究では1MHzのビジュアルフィードバックを可能とするビジョンセンサの開発を目的とする。本センサは、ウィルスのような極細生物の経常観察やマイクロ・ナノマシンの制御、燃焼等の化学現象の制御などに利用できると期待される。上記目的の実現のため、平成18年度は、以下のように研究を進めた。1.前年度に製作した32×32画素のビジョンセンサチップに配線ミスがあることが判明したので、修正版の設計を行い、仏CMPに提出し、製造を行った。2.同センサは32×32の画素アレイのほか、可変長パイプラインの制御に必要な4段のFIFOを列毎に、またモーメントの計算に必要な座標パターン生成回路を設置している。受光部の面積は約1mm角であり、1/3インチ型の光学系で154×115画素搭載できる計算である。3.製造したチップの動作確認を行うための評価ボードを作成した。現在、評価用のソフトウェアを作成中である。4.センサの高感度化のため、Optoプロセスに関する調査を行い、PD回路の改良について検討を行った。