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レーザーCVDコーティングの硬質レジン前装冠への応用

激光CVD涂层在硬质树脂贴面中的应用

基本信息

批准号：
18659566
负责人：
依田正信
金额：
$ 2.05万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2006
资助国家：
日本
起止时间：
2006 至 2007
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18659566/
关键词：
CVDコーティング歯科生体材料前装冠

项目摘要

本研究の目的は,硬質レジン前装冠金属フレーム上にTiO_2層を密着性よく成膜できれば,従来のオペークレジンの代用となり,冠・橋義歯分野での画期的な技術革新になると考え,電子サイクロトロン共鳴(Electron Cyclotron Resonance, ECR)プラズマによるCVD(Chemical Vapor Deposition)法を用い,硬質レジン前装冠用フレーム金属(金銀パラジウム合金)へのTiO_2層の生成を試みた.本年度は,このCVD法による,TiO_2層の合成条件,その条件による成膜速度の変化などを検討し,成膜の可能性について基礎的検討を行った.予備実験の結果,特にTiO_2層の生成に影響を及ぼすと考えられた,マイクロ波出力(1〜3kW),基板温度(300〜700℃),成膜圧力3〜5Torr)の3つの成膜パラメータについて括弧内のように条件を変化させ,成膜を試みた.その結果,マイクロ波出力2kW,基板温度500℃,成膜圧力3または5Torrが,白色TiO_2層の金銀パラジウム合金への成膜に適した条件であることを明らかにした.生成した膜の高倍率観察では,膜は直径数100nm程度の球状粒子から構成され,さらに,球状粒子が連結して網目状のネットワークを形成していることがわかった.本年度は,ECRプラズマCVD法による金銀パラジウム合金上へのTiO_2層の成膜を試み,色調,および表面構造の観点から,最適成膜条件を明らかにした.この基礎研究の結果を基に,TiO_2網目構造の内部にレジンを浸透させることができれば,レジンとTiO_2層との密着性が飛躍的に向上し,優れた耐久性を持つことが期待される.

The purpose of this study is to study the adhesion of TiO_2 layer on the metal surface of the hard alloy pre-mounted crown, the substitution of TiO_2 layer on the metal surface of the hard alloy pre-mounted crown, and the technical innovation of electron resonance.(Electron Cyclotron Resonance, ECR) CVD(Chemical Vapor Deposition) method was used to produce TiO_2 layer on the surface of metal (gold and silver alloy) for hard metal pre-coating. In this year, the synthesis conditions of TiO_2 layer in CVD method, the variation of film formation rate and the possibility of film formation were discussed. The experimental results show that the formation of TiO_2 layer is influenced by the substrate temperature (300 ~ 700℃), the film forming pressure (3 ~ 5 Torr), the microwave power (1 ~ 3kW), the film forming pressure (3 ~ 5Torr), and the film forming conditions. As a result, the wave power is 2 kW, the substrate temperature is 500℃, the film forming pressure is 3 Torr, and the suitable conditions for the film formation of the white TiO_2 layer are as follows. The film is formed by spherical particles with a diameter of about 100nm, and the spherical particles are linked to each other in a mesh shape. This year, the ECR CVD method was used to test the TiO_2 film formation on gold and silver alloys, and the optimum film formation conditions were clarified. Based on the results of the basic research, TiO_2 mesh structure is expected to have excellent durability.