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ナノピクセルカドテルX線イメージセンサの基礎研究

纳米像素Cadtel X射线图像传感器基础研究

基本信息

批准号：
19656089
负责人：
三村秀典
金额：
$ 1.98万
依托单位：
Shizuoka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2007
资助国家：
日本
起止时间：
2007 至 2008
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究の目的は、X線入射によりCdTeダイオード内で発生する正孔によるイメージパターンをマトリクス駆動微小電子源アレイからの電子ビームで読み出すことにより、微小電子源アレイの画素ピッチで解像度が決まる、超高精細の微小電子源アレイ駆動CdTe X線イメージセンサを開発することである。本年度は、イオン注入プロセスを用いた薄膜誘起立体化により直立薄膜微小電子源からなる5×5と10×10のマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを開発した。イオン注入プロセスを用いた薄膜誘起立体化は比較的歩留まりよく、ほぼ全ての画素が動作するマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを製作できることがわかった。そこで、CdTeショットキーダイオードとマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイを組み合わせ、微小電子源アレイからの電子ビームでX線照射により発生するCdTeダイオードの正孔イメージパターンを読み出すX線センサを製作した。X線センサ特性として、X線管電流とX線管電圧を変化させ、CdTeダイオード上に置いた銅版の有無とによる信号電流の変化を読み取った。その結果、この微小電子源アレイ駆動CdTeショットキーダイオードは、CdTeダイオードに入射するX線量に比例した信号を出力できるX線センサとして動作することを確認した。以上、薄膜誘起立体化によるマトリクス駆動直立薄膜微小電子源アレイとCdTeダイオードで超高精細の微小電子源アレイ駆動CdTe X線イメージセンサの開発の基盤技術を確立した。

The purpose of this study is, Positive Hole Electron Microelectron Sourceらの电ビームで読み出すことにより, micro electron source アレイのpixel pixel resolution がまる, ultra-high definition micro electron source アレイ槆kinetic CdTe X-ray イメージセンサを开発することである. This year, we will inject プロセスを into a いた thin film to induce three-dimensional により upright thin film micro electron source. The らなる5×5と10×10のマトリクス槆 dynamic upright thin film micro-electron source アレイを开発した. The イオン injected プロセスを uses the いた film to induce three-dimensionality. Comparative 橩 stay まりよく and ほぼ全てのpixelsがAction Microelectronics is an upright thin film micro-electron source produced by できることがわかった.そこで, CdTe ショットキーダイオードとマトリクス槆 dynamic upright thin film micro electron source アレイを group み合わせ, micro electron source アレイからの电ビームでX-ray irradiationにより発生するCdTeダイオードの正口イメージパターンを読み出すX-ray センサをproduced した. X-ray radiation characteristics, X-ray tube current and X-ray tube voltage, CdTe The presence or absence of the copper plate on the ダイオード is changed and the signal current is changed and the に読み is taken.その results, このmicroelectron source アレイ槆动CdTeショットキーダイオードは, CdTeダイオーThe ratio of the incident X-ray amount to the signal output is the X-ray action, and the X-ray action is confirmed. Above, the thin film induces three-dimensionalization. The upright thin film microelectron source, CdTe, is an ultra-high-definition microelectron source. The basic technology of X-ray imaging technology has been established.