常圧活性窒素N*発生による高次窒化物合成と表面窒化
常压活性氮N*生成高阶氮化物合成及表面氮化
基本信息
- 批准号:19656195
- 负责人:
- 金额:$ 1.66万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Exploratory Research
- 财政年份:2007
- 资助国家:日本
- 起止时间:2007 至 2008
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
窒化物は様々な分野で用いられているが、イオン窒化法は負圧下のプロセスであり試料のサイズに制限があり、窒化力を持つ活性窒素種の発生量が少なく処理に時間を要するほか、試料そのものに放電を行うためスパッタによるダメージが発生する。本研究では放電部と反応部を分離し、活性窒素種の発生量を増大させ処理時間を減らすために大気圧下で無声放電を行いガス窒化を試みた。円筒型放電管を用いて窒素ガスに無声放電を行い活性化窒素ガスを発生させた。円筒型放電管は電極が誘電体で覆われ誘電体バリア放電となる。試料は誘導加熱した。放電を行わず単なる窒素ガスを吹き付けたFe試料は処理による着色も窒化相も検出されなかったが、無声放電を行った窒素ガスを吹き付けた試料は黒く着色し、細かなFe_4Nが生成していた。両試料から窒化物だけでなく酸化物であるFeOが検出されたのは窒素ガス中に存在する微量な酸素によるものである。また、放電部から試料までの距離を倍にして窒化処理を行ったところ、窒素活性種は寿命が短く短時間で急激な活性窒素種密度の減少が起こるため、窒化による試料への着色は見られなかった。以上より無声放電を行うことで活性な窒素ガスが生じ、大気圧下であっても窒化できることが確認できた。同様にNb, Ta, Al, Cr, Znに活性化窒素ガスを吹き付けたが窒化物は生成せず、Ag, Cu等で窒化物と硝酸塩が生成した。これらは熱力学的に活性窒素の持つポテンシャルに制限があることもしくは活性窒素の生存時間に制限があることを示唆している。他の放電管も試験したところ、放電電極間を短く設定することが技術的に困難であり、安定した無声放電は出来なかった。今後は発生装置にも工夫が必要である。
The asphyxiated chemicals were used in the field of asphyxiation, and the asphyxiation method was used to limit the production of asphyxiating active asphyxiator. the time for the treatment of asphyxiated chemicals was low, and it was necessary to control the production of active asphyxiants. In this study, the anti-radiation department of the radio and electricity department was separated and the production of active asphyxiants was high. In this study, the radio and radio department of the radio and electricity department were separated from each other and the active asphyxiating hormone was used to control the production of asphyxiating chemicals. The tube-type discharge tube is used to activate the asphyxiating device and to give birth to the device. The tube type discharge tube, the battery, the battery, the tube, the battery, the tube, the battery, the battery. The material will lead to the increase of the price. In the first place, you should pay the Fe material to make sure that the coloring is suffocating, and that you will not be able to make a sound. If you do not make a sound, you will not be able to do so. There is a trace amount of acid in the asphyxiated compound, the acid compound, the acid compound, the FeO, the acid, the acid. The heating and discharge departments of the Department of Electrical and Mechanical Engineering are responsible for the operation of temperature control, asphyxiating active temperature, short life span, short time, low temperature, low temperature, high temperature, high temperature The above devices are silent and active. Asphyxiant is active. In general, asphyxiant is used to asphyxiate. Nb, Ta, Al, Cr, Zn, activated asphyxiant, asphyxiated compound, asphyxiated compound, Ag, Cu and so on. The active asphyxiant of the mechanical properties of the animal is controlled by the active asphyxiant in the mechanics of the test. the survival time of the active asphyxiant is limited by the time limit of survival time. He set up the electric and electrical equipment, set up the equipment, set the equipment, and put it out silently. In the future, it will be necessary to install the equipment.
项目成果
期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Frontiers of Materials Science
材料科学前沿
- DOI:
- 发表时间:2007
- 期刊:
- 影响因子:0
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- 通讯作者:R. O. Suzuki
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