磁性流体の偏光を利用した超平滑面のあらさ測定

使用磁流体极化测量超光滑表面的粗糙度

• 批准号: 02452103
• 负责人: 佐藤 松雄
• 金额: $ 3.39万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (B)
• 财政年份: 1990
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1990 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-02452103/
• 关键词: 超平滑面; 表面あらさ測定; 偏光解析; 磁性流体

本研究は,超平滑面の研摩加工とあらさ測定をオンザマシンで同時に行なうことを目的としており,そのために,磁性流体の偏光特性を応用した高感度のあらさ測定装置の開発を行なった。偏光測定系としては,エリプソメ-タの光学系を小型化するために光磁気記録に用いられているレ-ザ-偏光検出系を用いた。試作した検出系では,スポット径1.6μmの場合に,レ-ザ-の印加電圧-2.0Vから-2.2Vに対して2,±5°の角度範囲において,偏光角と出力電圧の関係がほぼリニアであり,角度分解能は0.5°であった。光磁気記録では,偏光角の電圧への変換をビットとして信号処理しているので,雑音に対して鈍感であるが,本研究では,アナログ信号処理であるため雑音対策と電圧の安定性を高める工夫を行なった。光源のレ-ザ-光を光チョップ方式とし,ロックインアンプを用いて信号処理を行ない,角度分解能を一桁以上向上することが出来た。本装置は偏光を利用しているため,試料面の相対的な距離(ワ-キングディスタンス)に鈍感であり,うねりを持つ曲面の場合でも測定することができる。この二つの成果により,本測定システムはオンザマシン測定として実用化できる見通しが得られた。また,本測定法を歯車の初期摩耗の過程を究明することに応用することを試みており,研究の一部は日本機械学会で講演発表ずみである。

This study は, super smooth surface の grind the processing と あ ら さ determination を オ ン ザ マ シ ン で line at the same time に な う こ と を purpose と し て お り, そ の た め に, magnetic fluid の polarization characteristics を 応 with し た Gao Gan degrees の あ ら さ measurement device の open 発 を line な っ た. Polarimetry is と し て は, エ リ プ ソ メ - タ の optics を miniaturization す る た め に magneto-optical 気 record に with い ら れ て い る レ ザ - polarization を 検 out department with い た. Attempt し た 検 out department で は, ス ポ ッ ト diameter 1.6 mu m に の situations, レ - ザ - electric 圧 の Inca - 2.0 V か ら - 2.2 V に し seaborne て 2, plus or minus 5 ° Angle の van 囲 に お い て, polarization Angle と output electric 圧 の masato is が ほ ぼ リ ニ ア で あ り, Angle can decompose は 0.5 ° で あ っ た. Magneto-optical 気 record で は, polarization Angle の 圧 へ の variations in を ビ ッ ト と し て signal 処 Richard し て い る の で, 雑 sound に し seaborne て insensitive で あ る が, this study で は, ア ナ ロ グ signal 処 Richard で あ る た め 雑 sound policy と seaborne electric 圧 の high stability を め る time line を な っ た. Light source の レ ザ - を light チ ョ ッ プ way と し, ロ ッ ク イ ン ア ン プ を with い て signal line 処 reason を な い, Angle can decompose を up more than one girder す る こ と が た. This device は polarization を using し て い る た め, sample surface の phase of seaborne な distance (ワ - キ ン グ デ ィ ス タ ン ス) に insensitive で あ り, う ね り を hold つ surface の occasions で も determination す る こ と が で き る. こ の two つ の results に よ り, the determination of シ ス テ ム は オ ン ザ マ シ ン determination と し て be in turn で き る see tong し が must ら れ た. ま た, this assay を 歯 car の "を の consumption process in the early Ming す る こ と に 応 with す る こ と を try み て お り, research の は machinery institute Japan で speech 発 table ず み で あ る.

项目成果

白石 彦一: "プラスチックねじ歯車の歯形摩耗とその影響に関する研究(第3報、線接触ホブ切り歯形と理論歯形の対比)" 日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部 第26期講演会講演論文集. 911ー1. 73-75 (1991)

白石彦一：“塑料螺旋齿轮的齿形磨损及其影响的研究（第3次报告，线接触滚齿齿形与理论齿形的比较）”在日本机械工程学会东北分会第26届会议和日本学术会议上的演讲精密工程学会东北分会论文集 911-1（1991）。