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均一な空間分布のマイクロ波誘起常圧プラズマ発生のための誘起体のマクロ構造制御

空间分布均匀的微波诱导常压等离子体产生诱导体的宏观结构控制

基本信息

批准号：
14655242
负责人：
清水康博
金额：
$ 2.5万
依托单位：
Nagasaki University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至 2003
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究では、誘起体の微細構造および組成変化を伴わずに、長期間安定して大気圧の空気中でプラズマを発生できる新たなプラズマ誘起体を、Mosi_2やFeSi等のケイ化物を中心に探索し、さらに、均一な空間分布の大気圧プラズマを発生させるためにマクロ構造制御を行うことを目的とした。具体的には、まず、SiC、MoSi_2ハニカムおよびFeSiを誘起体に用いてマイクロ波誘起プラズマの発生状態を調べた。本研究で用いたMosi_2ハニカムは、アルミナハニカムの表面をMoSi_2粉末でコーティングしただけの材料であったので、そのプラズマ発生能はSiCおよびFeSiに比べて劣り、ハニカムの空洞内部でプラズマを発生させることはできなかった。また、N_2キャリアーガス中での長期間のプラズマ発生では、SiCおよびFeSiのどちらの場合でも誘起体としての熱安定性に問題があり、さらに熱安定性の高い誘起体の探索が必要と考えられる。また、SiCおよびFeSiから発生したN_2プラズマによるMCBの分解特性に及ぼす雰囲気中のO_2濃度の影響を調べた。どちらの誘起体を用いた場合でも、プラズマが発生すればMCBの転化率はほぼ100%となった。ただし、O_2の添加量が3.0%と少ない場合には、300〜600ppm程度のCOが生成し、モノクロロベンゼンを完全には酸化分解できなかった。なお、どちらの誘起体の場合でも、O2添加量を増やすと、COの生成量は減少し、完全酸化が促進された。ただし、完全酸化という観点からは、誘起体としては、FeSiよりもSiCの方が優れていることがわかった。

The purpose of this study is to change the composition of the microstructure of the induced body and ensure long-term stability. Mosi _2 The center of exploration, uniformity and spatial distribution of chemicals such as FeSi気尧プラズマを発生させるためにマクロstructural control を行うことをpurpose とした. Specifically, には, まず, SiC, MoSi_2ハニカムおよびFeSiをinduced body に Use いてマイクロwave to induce プラズマの発生state をadjusted べた. This study used the いたMosi_2ハニカムは, アルミナハニカムの table Surface MoSi_2 powder materialで、そのプラズマ発生能はSiCおよびFeSiに is inferior to べてり, The inside of the hollow of the ハニカムのでプラズマを発生させることはできなかった.また、N_2キャリアーガス中での久久のプラズマ発生では、SiCおよびFeSiのどちらの occasion Thermal stability of the induced body is a problem, and the thermal stability of the induced body is high. It is necessary to explore and examine the thermal stability.また, SiC およびFeSiから発生したN_2プラズマによるMCB's decomposition characteristics and the influence of the O_2 concentration in the す atmosphere 囲気 are adjusted. The どちらのinduced body を uses the いた occasion でも, the プラズマが発生すればMCB の転成级はほぼ100% となった. The amount of O_2 added is 3.0% and the amount of O_2 added is 300~600ppm when the amount is small. The degree of CO generation and the complete acidification and decomposition of CO2. It can reduce the amount of O2 added, reduce the amount of CO generated, and promote complete acidification.ただし, completely acidified という観点からは, induced body としては, FeSiよりもSiCの方が优れていることがわかった.