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近接場X線励起法の開拓によるナノ局所X線光電子分光分析法の開発

通过开创性的近场X射线激发方法开发纳米局域X射线光电子能谱

基本信息

批准号：
14655314
负责人：
岡崎敏
金额：
$ 1.92万
依托单位：
University of Fukui
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
2002
资助国家：
日本
起止时间：
2002 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

まず、現有する多機能走査プローブ分析顕微鏡装置を本研究目的のために再構築するための綿密な予備検討を行った。その後、近接場X線励起法の開拓を中心として、以下の二法について基礎検討した。その結果、新規走査型近接場X線分析顕微鏡開発についての多くの知見が得られた。(1)ポイントフォーカスX線管を用いて、X線源に金属プローブを接近させ、プローブ先端で散乱するX線をエネルギー分光可能なSDD検出器(シリコンドリフトディテクター)により測定した。この際、先端が媒質に接近した場合の近接場効果を調べることにより、金属プローブの先端から生ずる蛍光X線の強度がどのように変化するかを検討した。その結果、蛍光X線強度に、媒質へ接近し波長に近い距離で、近接場効果によると見られる増強が観測された。(2)微小スポットのX線を検出する方法として、代表者らが近接場顕微鏡の研究で開発してきた石英キャピラリーをプローブとする方法について検討した。すなわち、先端にサブミクロン径の微小開口を開けた石英キャピラリープローブを製作し、X線管の表面に接近させて透過X線強度の変化を測定した。その結果、X線管表面に1nm程度まで接近させると十分な感度で検出できる強度が得られることを確認した。以上の検討から、ポイントフォーカスX線管を用いて、透過X線強度をサブミクロン程度の分解能で走査型X線顕微鏡を実用化する可能性を確認した。本萌芽研究の成果から、新規なナノスケール表面分析法として、キャピラリープローブによる透過X線顕微鏡、および金属プローブ先端の散乱X線を測定する蛍光X線顕微鏡の開発が可能であること見いだした。今後、研究分担者の研究所において、実用化研究が推進される予定である。研究代表者は、定年退職直前まで科学研究補助金を得て、本萌芽研究により、全く新規な走査型近接場X線分析顕微鏡を開発する可能性を探る研究を全うできたことは、代表者が命名した走査型近接場顕微鏡の開発に関する一連の研究を集大成できたと心から感謝する次第である。

The purpose of this study is to re-construct the existing multifunctional probe and analyze the micro-mirror device. The development of the X-ray excitation method in the near field is centered on the following two methods: The results of the new method of X-ray analysis of near-contact field and micro-mirror development show that there is a lot of knowledge. (1)The X-ray tube is used in the X-ray source. The X-ray source is close to the metal. The X-ray source is scattered. The SDD detector is used to measure the X-ray source. The intensity of X-rays emitted from the laser beam is changed when the laser beam is close to the medium. Results: X-ray intensity, medium proximity, near distance, near field effect, and increased intensity. (2)X-ray detection of micro-particles and micro-particles is an important part of the study of near-field micro-mirrors. The surface of the X-ray tube is close to the X-ray intensity. The result is that the surface of the X-ray tube is close to 1nm, and the sensitivity is close to 1 nm. The above discussion confirms the possibility of using X-ray tube, X-ray intensity resolution and walk-through X-ray microscope. The results of this initial research include the possibility of developing X-ray microscopes through X-ray microscopes, metal microscopes, and scattered X-ray measurements by surface analysis. In the future, the research institute of the research partner will be promoted and the application research will be determined. The research representative was awarded a scientific research grant for the first time in a fixed year, and the research on the possibility of developing a new type of near-field X-ray analysis microscope for this embryonic research was completed in the second place.